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發布時間:2021-05-12 08:14  
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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。然而有些型號儀表對安裝姿勢具有敏感性,大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。
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流量控制器
熱式質量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內的被測流體加熱,熱能隨流體一起流動,通過測量因流體流動而造成的熱量(溫度)變化來反映出流體的質量流量。
當流體成分確定時,流體的定壓比熱為已知常數。因此由上式可知,若保持加熱功率恒定,則測出溫差便可求出質量流量;若采用恒定溫差法,即保持兩點溫差不變,則通過測量加熱的功率也可以求出質量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現,所以實際應用較多。(2)測量控制的自動化質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。
為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕,可采用非接觸式測量方法,即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部,而流體由薄壁管內部通過。非接觸式測量方法,適用于小口徑管道的微小流量測量。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當用于大流量測量時,可采用分流的方法,即僅測量分流部分流量,再求得總流量,以擴大量程范圍。
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越來越多的朋友對氣體質量流量計﹑質量流量控制器產生了濃厚的興趣。
質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。浸入式熱式質量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質量流量計更適合于大管徑。