馬鞍山拋光白布的質量誠信企業推薦 昆山新光速光電

拋光布材質分類：

　　真絲絲絨：長絨毛真絲料，鋼鐵,高精密材料或鋁、銅、鎂等軟材料拋光或精拋光;

　　植 絨：.短絨毛綿料，堅固耐用，常用于鋼鐵材料，電子行業電路板，軟金屬的拋光 ;

　　帆 布：無絨毛綿料，使用于鋼鐵材料的粗拋光;

　　絲 綢：沒有絨毛，使用于含有石墨或夾雜物等組織的拋光;

　合成高分子材料(無絨毛)，多空性：.和金剛石、氧化鋁、二氧化硅懸浮液配套使用，適用于多種材料(尤其是極軟材料如鈦、銅、銀等)的后精拋光(尤其是機械/化學同時進行的拋光);

磨料相對工件的硬度對磨料的作用機制有著重要影響。當磨粒硬度相對工件太大時, 在拋光壓力作用下很容易導致磨粒嵌入工件表面,在拋光表面殘留劃

痕磨蝕坑;磨粒硬度相對于工件太小時,又會延長加工時間。研究表明拋光過程中納米磨料所發生的自身變形量與磨料的硬度成反比,硬度低的納米磨

料由于自身變形量大,切入工件的深度小,工件拋光表面粗糙度低。

 拋光墊是化學機械拋光(CMP)系統的重要組成部分。它具有貯存拋光液,并把它均勻運送到工件的整個加區域等作用。

     拋光墊的性能主要由拋光墊的材料種類、材料性能、表面結構與狀態以及修整參數等決定。拋光墊的剪切模量或增大拋光墊的可壓縮性,CMP過程材料去除率增大;采用表面合理開槽的拋光墊,可提高材料去除率,降低晶片表面的不均勻性;拋光墊粗糙的表面有利于提高材料去除率。對拋光墊進行適當的修整可以增加拋光墊表面粗糙度、使材料去除率趨于一致。與離線修整相比較,在線修整時修整效果比較好。