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發布時間:2020-12-21 21:04  
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在芯片制造領域,光刻機和蝕刻機一直是芯片制造領域的關鍵。在業界有個形象的比喻,光刻機是芯片制造的魂,蝕刻機是芯片制造的魄,如果要想制造的芯片,這兩個東西都必須。
而在光刻機方面,與世界的7nm制程都相去甚遠。不管三星、英特爾還是臺積電在芯片制程工藝方面如何去競爭,但ASML終究是背后霸主,贏家,因為他們誰都離不開他的EUV光刻機。而國產光刻機還在路上,目前我國已經能夠使用365納米波長的光生產22納米工藝的芯片,這在全世界尚無先例,它也被稱為世界上首臺分辨力的紫外超分辨光刻裝備。這也意味著國產光刻機可以使用低成本光源,實現了更高分辨力的光刻。


蝕刻
1、正式蝕刻
把堅好膜的銅材放在入料口的合適位置,按下蝕刻開關,蝕刻機就開始對銅材進行蝕刻, 根據要求控制好蝕刻機傳輸速度,從而控制蝕刻深度。
蝕刻略淺,只需蝕刻出圖案花紋即可,之后由蓋油工程師對蝕刻后的銅材進行精準定位的蓋油,以保護底紋,露出需打穿的部分,烘干、再進一次蝕刻機,打穿成型。
2、褪膜
使用專用的退膜機進行褪膜處理,褪膜后用清水沖洗干凈,再用烤箱烘干。
3、打磨
專業打磨拋光人員對卡片純手工拋光打磨,要求一次一張,打磨后邊緣無任何水口位殘留毛刺,摸上去手感平滑順暢。

抗蝕刻層:
抗蝕刻層大概為油墨或濕膜二種,現階段有店家發布了噴墨打印機復印抗蝕刻油墨,但精度是不是能做到產品規定,必須靠慮。 油墨的包裝印刷方法比較多,能夠依據不一樣的產品開展選 擇,大致而言有下列幾類: 傳統式手動式或全自動包裝印刷:只有單雙面包裝印刷。 絲網印刷機:優勢較為顯著,施膠速度更快,可單雙面施膠或兩面途布。 曝光機: 曝光機現階段大概有幾種,一是傳統式風冷式小輸出功率的曝光機,像這類曝光機精度差,低,只適合做簡易的標識牌產品。 若想做的產品,提議功率大的水冷式曝光機,或LED平行面曝光機。此2款型號都有優點和缺點,水冷式曝光機輸出功率大,耗能高。而LED曝光機是屬冷光燈曝光機,耗能低,精度也罷,但是就是說價錢較為高。但這2款型號,燈源也平穩,產品合格率也高。但實際采用哪家能夠依據分別要求開展挑選。