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發布時間:2021-04-21 06:01  
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凈化工程的等級劃分比較的嚴格,一般按照7個等級進行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化安全要求是根據等級來實施的,凈化工程等級數越小,級別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。相對濕度越高,粘附的難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規范進行。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。

我們國家的空氣分子控制等的技術正在朝有利的方向發展,這項技術原先是由日本發展起來的,現在已經受到了全世界的關注和認可,在我們國家,這項技術已經受到了相關行業的重視并且投入研發,相信在不久的未來,我們國家的相關科研人員一定會在這個領域取得讓人滿意的成績,為我們國家的凈化工程行業做出貢獻。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"凈化工程的等級劃分比較的嚴格,一般按照7個等級進行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化安全要求是根據等級來實施的,凈化工程等級數越小,級別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。

1000級 一般只對塵埃濃度做要求,用于光學器件,儀器等高精儀器等10000級,用于液壓設備的生產,和一些食品飲料的生產。100000級,這個級別比較的低,對凈化度要求不是很高,主要在印刷廠,包裝廠等。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導體技術也在發展之中,在未來對潔凈度的要求更加高。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
