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              大型磁控濺射鍍膜機廠家價格【至成真空科技】

              發布時間:2020-12-12 09:06  

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              真空鍍膜機的結構與工作原理介紹


              一、真空鍍膜機的結構:

              真空卷繞鍍膜機由真空罐、真空抽氣系統、蒸發系統、卷繞系統、冷卻系統及電氣系統組成。

              真空罐是整臺真空鍍膜設備的主體部件,其結構為圓柱形筒體,左端為圓形封頭封閉,右端的法蘭與卷繞車的大圓板對接實現密封。

              外部聯接抽氣管道,內部空間用于在真空狀態中鍍制產品,分為上下室,上室是基材卷繞室,下室是鋁絲蒸發鍍膜室。

              二、真空鍍膜機的工作原理:

              真空罐的正面中上部裝有可供觀察基材運行情況和觀察鍍層質量的長方形觀察窗,正面中下部裝有可供觀察送絲情況和蒸發舟加熱狀態的長方形觀察窗,同時還裝有可供觀察收料軸、放料軸運轉狀況的圓形視窗各一個。

              真空罐的背面中下部開有一方形的蒸發鍍膜室抽氣口,尾部圓封頭處開有一圓形的卷繞室抽氣口。真空罐的底部裝有水箱,用于罐體的冷卻,頂部裝有真空測量規管用于測量真空室內的壓力。



              真空鍍膜設備的環境要求


              由于真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。

              我國制定的各種真空鍍膜設備的行業標準(包括真空鍍膜設備通用技術條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發鍍膜設備)都對環境要求作了明確規定。只有滿足了真空鍍膜設備對環境的要求,才能使該設備正常運轉,加上正確的鍍膜工藝,方能生產出合格的鍍膜產品。



              多片式比較片裝置的設計特點


              1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式,可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件污染,保證撥動盤轉動的靈活性。

              2)圓形軸承座的設計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸的直徑尺寸,加大軸承座中兩軸承的安裝間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸1的剛度和撥動盤的旋轉靈活性、位置重復的一致性。

              3)裝載換位機構,通過擴大支承盤的直徑,使該機構在平面方向的有效面積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利于光路調整,提高光學薄膜質量;比較片由單片玻璃作為一個比較片單元,比較片采用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒內,實現一次可放置50~100片比較片,解決鍍膜機鍍制多層精密光學薄膜,比較片數量少影響鍍膜層數和精度的問題。


              4)定位盤與槽型光藕的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫,控制電機轉動停止。軸1旋轉定位重復的一致性得到保證,帶動撥動盤完成準確的撥片動作。

              5)轉動密封饋入機構引入威爾遜密封機構,既保證電機通過齒輪嚙合帶動軸的靈活轉動,又保證真空室對外部的密封作用。優化設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置,其特點:(1)結構簡單,強度高,可靠性好;(2)比較片裝載數量大,生產效率提高,可鍍制超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件系統的要求,系統容易實現自動控制;