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特氣系統知識分享：標準氣體

所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。它分為調整零位用標準氣體(零位氣體)、監測環境用標準氣、工業分析用標準氣體、醫1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。由于使用了標準氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。但是考慮安全和效率因素，不考慮經濟性因素，集中供氣系統是比較優1秀的方式。

標準氣體應用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環保、切割、焊接、食品加工等工業部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領域對標準氣體的需求量相對較大。

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試驗室供氣需求

目前大多數試驗室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質譜儀、液相色譜質譜儀、原子吸收分光光度計、原子熒光光度計、等離子發射光譜儀、電感耦合等離子質譜儀等都需要連續使用高純載氣和燃氣，因此試驗室的安全、連續、穩定運行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗室中放置的分析儀器。電子特氣系統的維護由于特氣系統是一種具有高風險的供應系統，因此在生產線現場的維護需要專業、有經驗的技術員完成。

電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定

1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統，內向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新經過氣密性試驗，合格后再按規定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統測試完畢，應充入高純氮氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。

特種氣體使用安全

首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統應采用焊接系統,機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處理。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規程。

其次,采用監測手段,預防事故發生。設置氣體泄漏偵測器,監控氣體泄漏。可燃性氣體應設置高溫或火焰偵測器。危險氣體應設置過流開關。特氣系統氣柜應進行負壓監測,防止抽風系統的失效。偵測系統應與報警和緊急切斷連鎖。電子行業常用的特氣超過三十余種，按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。系統還應進行遠程監控。監控系統應設置不間斷電源。