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真空檢漏

真空檢漏技術就是用適當的方法判斷真空系統、容器或器件是否漏氣、確定漏孔位置及漏率大小的一門技術，相應的儀器稱為檢漏儀。在真空系統、容器、器件制造過程中借助真空檢漏技術確定它們的真空氣密性、探查漏孔的位置，以便采取措施將漏孔封閉從而使系統、容器、器件中的真空狀態得以維持。

漏率的大小需進行校準后方能確定。一般采用比較法，即將被檢漏孔與標準漏孔在檢漏儀上進行比較，就可得出被檢漏孔的漏率。 檢測真空系統或其零部件的漏孔的方法。對一定的容器進行足夠長時間的抽氣后，容器壓力不再變化，這時的抽氣量必定與容器的漏氣量和放氣量之和相等，即puSe=qL q0，式中pu為容器的極限壓力，Se為容器排氣口處的有效抽氣速率，qL和q0分別為容器的漏氣量和放氣量。如放氣量少到可以不計，則平衡式變為puSe=qL，或pu=qL/Se。這說明容器的極限壓力由漏氣量與有效抽氣速率的比值決定。如抽氣速率一定(常數)，要得到低的極限壓力便應降低漏氣量，檢漏便是關鍵的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器內外的壓力差會使氣體通過漏孔從容器的一側通向大氣側。漏孔一般很微小，實際上不能測出漏孔的具體大小，所以漏孔大小都用漏率(在規定的條件下氣體流過漏孔的流量)來表示。漏孔兩側存在著壓力差，即可利用氣體流動引起的效應來檢漏。為便于檢漏和易于檢測出漏孔的位置，一般盡可能縮小檢測的面積范圍，所以先側重于對零部件的檢漏。零部件經過嚴格的檢漏，組裝后就可避免漏氣。

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氦質譜檢漏儀燈絲脆斷故障

檢漏技術在我國經濟中占有非常重要的地位，被廣泛應用于半導體、原子能、電力、航空、航天、、制冷、真空、汽車等行業。

氦質譜檢漏法與泡檢漏法、壓強衰減法和鹵素檢漏法相比，除檢漏原理不同以外，還具有監測靈敏度高，速度快、適用范圍廣，探索氣體無毒性、無破壞性、質量輕等優點，是諸多檢漏法中有效的方法。

氦質譜檢漏儀在使用過程中，常見的故障就是燈絲脆斷，氦質譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因為純鎢絲高溫使用發生再結晶以后變得很脆，再受到沖擊或震動時極易斷裂。原因是鎢常在晶界面上孕育出微裂紋，這些微裂紋的擴展極易造成鎢的碎斷。而鎢錸合金在變形過程中易形成孿晶，減少了堆垛層位錯能量，降低位錯移動的晶界阻抗，從而使位錯遷移率增加，促使了鎢的固溶軟化，此現象稱為“萊塑化效應”。該效應降低了氦質譜檢漏儀燈絲在高溫下的斷裂的風險，錸濃度高時的塑化效應降低。

鎢錸絲具有高熔點，高強度、高硬度、高塑性、高的再結晶溫度、高電阻率、低蒸汽壓、低電子逸出功和低的塑性脆性轉變溫度等優點。但鎢錸絲制作的燈絲極易氧化，在真空、惰性氣體中可以保持很長的使用壽命，但在氧化性氣氛中容易被碳化，降低其靈敏性并引發脆斷，在有氫氣存在的情況下，會加速碳化。

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氦質譜檢漏儀的優勢

科技信息化不斷更新迭代的市場，氦質譜檢漏儀的應用技術也在不斷發展和完善。一方面過去的氦質譜檢漏儀不能滿足現階段的一個需求，而且對檢漏儀提出新要求的情況下，檢漏儀設備使更新，另一方面每個行業的不足都在進步的過程，缺陷與不足相互補充，相互促進。而現在的氦質譜檢漏儀早已告別了四五十年代的初期情形，在性能和領域上都有新的突破。

氦質譜檢漏儀從以往的單方面領域的應用到現在多領域的應用，如：航空航天高科技工業、電力行業、電子行業、真空儀器儀表行業、核工業、制冷行業、不銹鋼保溫器皿等。其實氦質譜檢漏儀的領域應用廣發也是代表科技的一大進步，常見的氦質譜檢漏儀檢測儀方法有漏點型、漏率型兩種。

氦質譜檢漏儀適用于元件檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速啟動，移動性和系統的可靠性。

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