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碳化硅作為合金材料的一種,我們在生產和發展方面,一直都比較重視,目前的加工方法相比之前也有了很大的改善。
碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生產綠色碳化硅時需要加)等原料通過電阻爐高溫冶煉而成。這種材料的實用范圍較為廣泛,同時成本較低,屬于經濟型材料的一種。我國工業生產的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體。
與傳統硅功率器件制作工藝不同,碳化硅功率器件不能直接制作在碳化硅單晶材料上。必須在導通型單晶襯底上額外生長高質量的外延材料,并在外延層上制造各類器件。目前,主要的外延技術是化學氣相沉積(CVD),通過臺階流的生長來實現一定厚度和摻雜的碳化硅外延材料。隨著碳化硅功率器件制造要求和耐壓等級的不斷提高,碳化硅外延材料不斷向低缺陷、厚外延方向發展。