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發(fā)布時(shí)間:2020-09-08 04:29  
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應(yīng)用范圍
根據(jù)設(shè)計(jì),SOGEVAC泵可用來(lái)抽空穩(wěn)定氣體,其工作范圍為從大氣壓到泵極限真空之間的粗真空范圍。
警告
SOGEVAC泵不能抽空侵蝕性、腐蝕性的、或氣體。
若存在有侵蝕性的,的,腐蝕的或氣體,請(qǐng)與LEYBOLD公司聯(lián)系。
根據(jù)設(shè)計(jì),這些泵不能在或環(huán)境下工作。 若有問(wèn)題,請(qǐng)與LEYBOLD公司聯(lián)系。
當(dāng)心
泵不適合抽空液體或含有灰塵的介質(zhì)。必須引入相應(yīng)防護(hù)措施。
如有問(wèn)題,請(qǐng)與LEYBOLD公司聯(lián)系。
在抽空氧含量高于大氣(>20%)的氣體或其它高活性氣體之前,泵必須改型,除油,然后必須使用特殊油(例如PFPE)。
采取相應(yīng)安全措施。
請(qǐng)與LEYBOLD聯(lián)系以獲取有關(guān)重要的安全說(shuō)明書(shū)。
1.2 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
處于備用狀態(tài)的泵,電機(jī)隨泵一起提供。隨泵一起提供的還有GS77或等同的油已注入泵內(nèi)。
連接口由塑料保護(hù)蓋封住。在啟動(dòng)泵之前要去除這些塑料保護(hù)蓋。
真空泵維修保養(yǎng)誤區(qū)
真空泵為什么有噪音,有以下幾種可能,首先排除電機(jī)是否有異音,如果電機(jī)生音正常,電機(jī)主要是軸承損壞將有異音,更換軸承及排除,缸體是否有磨損狀況,如果缸體磨損聲音肯定會(huì)變大,解決方案,那就是搪缸,搪缸對(duì)泵浦本身影響很大的,會(huì)影響泵浦真空度及抽速,所以搪缸的尺寸及精度要求非常高,還有一級(jí)轉(zhuǎn)子與二級(jí)轉(zhuǎn)子連接處有個(gè)聯(lián)軸器是否有磨損,如果磨損聲音會(huì)變大,真空泵維修處理方案,就是更換,如果更換基本就可以排除聲音過(guò)大,泵浦軸承是否有更換,這個(gè)是直接影響聲音的根本原因,所以更換及可以解決噪音大之故障,一級(jí)轉(zhuǎn)子與二級(jí)轉(zhuǎn)子連接銷釘是否有磨損狀況,如果磨損也會(huì)導(dǎo)致噪音變大,處理方案就是換新,泵浦間隙是否符合標(biāo)準(zhǔn),如果間隙過(guò)大或者過(guò)小也會(huì)導(dǎo)致噪音變大,所以間隙必須符合泵浦使用狀況,排氣端是否有消音裝置,如果沒(méi)有也會(huì)直接導(dǎo)致聲音變大,處理方案就是更換及可以安裝及可排除。 真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)ya有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空。有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。1、檢測(cè)真空泵的方法:將真空泵與其管道分離,用真空計(jì)直接測(cè)量真空泵進(jìn)氣口,如果泵真空度達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn)就排除了泵漏氣的可能。


對(duì)于機(jī)械真空泵如旋片式真空泵應(yīng)安裝在清潔、干凈的環(huán)境里,溫度宜在15至40度范圍之內(nèi)。在真空泵的進(jìn)氣口處應(yīng)安裝精密過(guò)濾器,消除油蒸汽不使它污染整個(gè)系統(tǒng)。每次啟動(dòng)真空泵前,應(yīng)用手轉(zhuǎn)動(dòng)或斷續(xù)啟動(dòng)幾次,將旋片真空泵內(nèi)油排出真空泵外,減少啟動(dòng)時(shí)的阻力。真空泵使用油,一般3~6個(gè)月更換一次,以免增加真空泵維修保養(yǎng)起來(lái)的難度。真空泵抽除含有可凝性蒸汽時(shí)精密過(guò)濾器。用帶放氣電磁閱是較好的措施,可保證停泵時(shí)即對(duì)真空泵放大氣。適用于廣泛應(yīng)用的靈活系統(tǒng)LEYBOLDOPTICSCCS系列提供適用于每種需求選配組件陣列。


