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發布時間:2021-04-22 04:53  
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設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規范進行。我們國家的空氣分子控制等的技術正在朝有利的方向發展,這項技術原先是由日本發展起來的,現在已經受到了全世界的關注和認可,在我們國家,這項技術已經受到了相關行業的重視并且投入研發,相信在不久的未來,我們國家的相關科研人員一定會在這個領域取得讓人滿意的成績,為我們國家的凈化工程行業做出貢獻。
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級,并且我國半導體技術也在發展之中,在未來對潔凈度的要求更加高。壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。現在我們國家的凈化工程已經在朝著節能的方向發展了,除了專業人士以外,其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大,時候普通寫字樓的20倍,比美國更發達國家高出了15%。看到這些令人心驚的數字,我們國家的科學家們從節能的角度出發從根本上出出發,設計出能夠節省的相關設備。
1,凈化車間的構成:為確保室內的潔凈度,把使用條件、空調的條件等作為為基本的內容,在考慮到作業性和氣流狀況后再予以確定。在構造上要有準備室、更衣室、清洗室、休息室、管理室等。
2,清洗方法:作為室內的潔凈化氣流方式,有垂直層流式、水平層流式、非層流式。其中,到底使用哪一種方式,要根據潔凈度的級別及使用條件來決定。
3,潔凈度和氣流方式:潔凈度可通過氣流方式和換氣次數改變。因而,要根據室內的作業內容、人員及產品的動向決定氣流方式。
起塵性高的作業,不得將其置于氣流的上側。而且,根據場合的不同,必須設置排氣。