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潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí),應(yīng)符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對(duì)于傳輸、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾摺５獨(dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過(guò)下限的20%時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分。3．使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)。

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門(mén),考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要

潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門(mén)，考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要，其開(kāi)設(shè)方向要朝向壓力大的房間，因?yàn)橐繅毫Π验T(mén)壓緊，這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時(shí)潔凈和緊急疏散時(shí)的兩方面要求，規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門(mén)、潔凈區(qū)與室外的門(mén)作為安全疏散門(mén)對(duì)待，其開(kāi)啟方向一律朝向疏散方向，當(dāng)然，單設(shè)的安全門(mén)也是如此。潔凈室的建筑裝飾工程主要是指除主體結(jié)構(gòu)和外門(mén)外窗之外的包括地面與樓面裝飾工程。

如果選擇集中式潔凈空調(diào)系統(tǒng),空氣處理設(shè)備

如果選擇集中式潔凈空調(diào)系統(tǒng)，空氣處理設(shè)備集中在機(jī)房?jī)?nèi)，通過(guò)輸送管把處理后的空氣分配給末端裝置，再送到實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，以不同換氣次數(shù)和氣流形式來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)參數(shù)的綜合控制。其特點(diǎn)是處理空氣量大，便于參數(shù)控制，是實(shí)驗(yàn)室裝修在潔凈工程方面的方式。如果選擇分散式潔凈空調(diào)系統(tǒng)，會(huì)在實(shí)驗(yàn)室有潔凈需求的區(qū)域配置單獨(dú)的空調(diào)處理系統(tǒng)，在出風(fēng)口處通過(guò)過(guò)濾器進(jìn)行空氣處理，然后分配給末端裝置，從而實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)參數(shù)的綜合控制。通常來(lái)說(shuō)，此方式適合局部有潔凈需求的實(shí)驗(yàn)室。