您好,歡迎來到易龍商務(wù)網(wǎng)!
發(fā)布時間:2020-11-13 09:54  
【廣告】

負(fù)膠:曝光區(qū)域發(fā)生交聯(lián),難溶于顯影液。特性:良好的粘附能力、良好的阻擋作用、感光速度快;顯影時發(fā)生變形和膨脹,所以只能用于2μm的分辨率。
正膠:正性光刻膠的曝光區(qū)域更加容易溶解于顯影液。特性:分辨率高、臺階覆蓋好、對比度好;粘附性差、抗刻蝕能力差、高成本。
目前一般都是用正膠,對于線寬要求不高的時候或者一些特殊的用途(比如PSS等)可以選擇負(fù)膠