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發布時間:2021-01-20 14:25  
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凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
根據潔凈室車間空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型:循環空調機配合送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU循環系統。

設計人員在設計時應充分考慮潔凈室的特點,嚴格控制防火分區,使之達到規范要求,我國現行消防技術規范已對潔凈室防火分區提出了明確的要求,規定甲、乙類生產的潔凈室宜為單層,其防火分區很大允許建筑面積,單層廠房宜為3000平方米,多層廠房宜為2000平方米;丙、丁、戊類生產的潔凈室其防火分區很大允許建筑面積應符合現行《建筑設計防火規范》的規定。除此以外,我們還應特別注意潔凈室的頂棚和壁板、潔凈生產區與一般生產區間的隔斷以及技術豎井等部位的防火處理,要求其必須采用不燃燒體材料,且耐火極限要達到相應技術規范的要求。5、GMP江西無塵車間日常需要進行消毒滅菌,方法有很多,可以采用干熱滅菌、濕熱滅菌、輻射滅菌、氣體滅菌、消毒劑消毒。

百級潔凈室規劃裝修參數規范:
1. 潔凈度:粒徑≥0.1微米的塵土粒子數量需求小于100個。
2. 壓差及溫濕度:溫度22℃±2;濕度55%±5;根本房間要滿布ffu,做高架地板。做MAU ffu DC系統。還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度確保在10pa左右。
3. 照度:由于無塵潔凈室的工作內容大多有精細的要求,而且又都是密閉性房子,所以,對照明一向有很高的要求。
