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              發布時間:2021-10-18 06:22  

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              EMMI可廣泛應用于偵測各種組件缺陷所產生的漏電流,包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區域操作的晶體管,可藉由EMMI定位,找熱點(Hot Spot 或找亮點)位置,進而得知缺陷原因,幫助后續進一步的失效分析。





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