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              發布時間:2021-04-22 10:09  

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                     建筑玻璃有透光和隔熱兩個基本功能。普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量,這對采光和吸收太陽光線的能量十分有利。而對于空間紅外輻射,普通玻璃雖能阻止室內的熱量直接透過室外,但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會造成很大的損失。隨著經濟的發展,普通玻璃已越來越不能滿足人們的要求。而陽光控制膜和低輻射膜正好能彌補了普通玻璃在這一方面的不足。

                     生活中我們會看到金黃色的、鈷銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、銑刀、模具等,這些就是經過派瑞林鍍膜技術加工后的涂層工具。金黃色的是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN 涂層。TiN是代應用廣泛的硬質層材料。黑色的是在切削工具上涂了TiC、CrN涂層。鈷銅色的是在刀具上鍍涂了TiALN涂層。



                     與化學吸附自限制過程不同,順次反應自限制原子層沉積過程是通過活性前驅體物質與活性基體材料表面化學反應來驅動的。這樣得到的沉積薄膜是由于前驅體與基體材料間的化學反應形成的。圖a和b分別給出了這兩種自限制反應過程的示意圖。由圖可知,化學吸附自限制過程的是由吸附前驅體1(ML2)與前驅體2(AN2)直接反應生成MA原子層(薄膜構成),主要反應可以以方程式⑴表示。對于順次反應自限制過程首先是活化劑(AN)活化基體材料表面;然后注入的前驅體1(ML2)在活化的基體材料表面反應形成吸附中間體(AML),這可以用反應方程式⑵表示。反應⑵隨著活化劑AN的反應消耗而自動終止,具有自限制性。當沉積反應前驅體2(AN2)注入反應器后,就會與上述的吸附中間體反應并生成沉積原子層。


                     原子層沉積是在一個加熱反應器中的襯底上連續引入至少兩種氣相前驅體物種,化學吸附的過程直至表面飽和時就自動終止,適當的過程溫度阻礙了分子在表面的物理吸附。

                     目前可以沉積的材料包括:氧化物,氮化物,氟化物,金屬,碳化物,復合結構,硫化物,納米薄層等。 中空納米管,隧道勢壘層,光電電池性能的提高,納米孔道尺寸的控制,高高寬比納米圖形,微機電系統(MEMS)的反靜態阻力涂層和疏水涂層的種子層,納米晶體,ZnSe涂層,納米結構,中空納米碗,存儲硅點涂層,納米顆粒的涂層,納米孔內部的涂層,納米線的涂層。




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