貴州正壓質(zhì)譜檢漏真空系統(tǒng)公司常用指南,華誠浩達真空設(shè)備

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方式

1、示蹤氣體A放在容器里面，處于正壓，然后用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測，容器外圍是否有氣體A，如果容器外有氣體A，則容器有漏。用這種方式能檢測出漏點，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。

2、示蹤氣體A噴在容器外面，用氦質(zhì)譜檢漏儀去檢測容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測出漏點，并能測知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。

如何選擇檢漏方式，與檢測對象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測對象的工作狀態(tài)一致。如檢測對象工作時內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測對象工作時內(nèi)部處于負壓，則用真空模式。

氦質(zhì)譜檢漏儀的特點

氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。氦質(zhì)譜檢漏儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，氦質(zhì)譜檢漏儀才能穩(wěn)定正常工作。

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

2 本底信號不穩(wěn)定

1）本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。

2）本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀盡量應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動

分子泵不啟動，主要有檢查供電和前級真空是否正常（較常見的是前級真空機械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動）。或者是分子泵本身因振動和粉塵污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級機械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會使油色變黑，水汽會使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導(dǎo)致機械泵工作不正常。另外過低的溫度會使機械泵油粘稠度增加無法啟動，過高的溫度也會使機械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機械泵的環(huán)境溫度盡量在 10至 40之間使用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求

氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。秀長的體積，優(yōu)越的性能，適用于眾多行業(yè)。運用了氦質(zhì)譜和逆擴散原理,采用了原裝進口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù)，實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進行細檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點：

1.檢測時間和響應(yīng)周期非常短，可以達到2s以內(nèi)；

2.檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；

3.多種大漏保護模式，充分保護離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊；

4.大漏檢測功能：可通過預(yù)設(shè)壓力，抽空時，達不到預(yù)設(shè)值，檢漏儀自動報警提示。

5.多種計量單位選擇，檢測數(shù)據(jù)實時更新，直接輸出生成Excel表格。