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發布時間:2020-11-10 08:55  
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使用顯微光譜法在微小區域內通過絕i對反射率進行測量,可進行高i精度膜厚度/光學常數分析。
可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件
彩色抗蝕劑(RGB)的薄膜厚度測量[FE - 0003]
液晶顯示器的結構通常如右圖所示。 CF在一個像素中具有RGB,并且它是非常精細的微小圖案。 在CF膜形成方法中,主流是采用應用在玻璃的整個表面上涂覆基于顏料的彩色抗蝕劑,通過光刻對其進行曝光和顯影,并且在每個RGB處僅留下圖案化的部分的工藝。 在這種情況下,如果彩色抗蝕劑的厚度不恒定,將導致圖案變形和作為濾色器導致顏色變化,因此管理膜厚度值很重要。
膜厚儀測試時有關輻射安全注意事項
幅射安全方面膜厚儀由于使用X射線管而產生輻射。測量頭的設計完全符合國際X射線安全要求: ·測量頭控制臺上的一個鑰匙開關通過打開或關閉X射線管上的高壓決定X幅射的產生與否; ·一個多級故障自動保險互鎖系統可控制X幅射的產生,從而有效保護操作者的安全; ·如果測量門沒有完全關閉,X幅射就不會進入測量室; ·足夠的遮罩用來減小外部的幅射量。
影響膜厚儀測量的的客觀因素
耦合劑對膜厚儀的影響。耦合劑是用來排除探頭和被測物體之間的空氣,使超聲波能有效地穿入工件達到檢測目的。如果選擇種類或使用方法不當,將造成誤差或耦合標志閃爍,無法測量。因根據使用情況選擇合適的種類,當使用在光滑材料表面時,可以使用低粘度的耦合劑;當使用在粗糙表面、垂直表面及頂表面時,應使用粘度高的耦合劑。