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發布時間:2021-08-04 23:18  
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真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜。真空鍍膜設備若有灰塵,將會影響真空鍍膜的效果和質量。高溫真空鍍膜
真空鍍膜設備真空熱處理是指金屬制件在真空或先抽真空后通惰性氣體條件下加熱,然后在油或氣體中淬火冷卻的技術。采用通氣對流加熱方式還可使加熱均勻,減少表面和心部的溫差,從而也減少畸變。
真空鍍膜應用是真空應用中的一個大分支,在光學、電子學、理化儀器、包裝、機械以及表面處理技術等眾多方面有著十分廣泛的應用。
真空鍍膜應用,簡單地理解就是在真空環境下,利用蒸鍍、濺射以及隨后凝結的辦法,在金屬、玻璃、陶瓷、半導體以及塑料件等物體上鍍上金屬薄膜或者是覆蓋層。相對于傳統鍍膜方式,真空鍍膜應用屬于一種干式鍍膜。真空條件下制備薄膜,環境清潔,膜不易受到污染,因此,可獲得致密性好、純度高、膜層均勻的膜。
物理氣相沉積:在真空狀態下,鍍膜材料經蒸發或濺射等物理方法氣化,沉積到基片上的一種制取膜層的方法。
真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內,也就是說對于薄膜的光學特性來說,真空鍍膜沒有障礙。
鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。
真空鍍膜的物理過程
基本原理可分為三個工藝步驟:
鍍料的氣化:即鍍料的蒸發、升華或被濺射從而形成氣化源
鍍料粒子((原子、分子或離子)的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經過碰撞,產生多種反應。
鍍料粒子在基片表面的沉積