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有機廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術

有機廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術。吸收法是利用有機氣體水溶性的特性，且添加次或等氧化劑，將有機廢氣中的有機氣體去除。此方法因添加氧化劑不但處理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍應用。生物處理法是利用微生物的代謝作用，將污染物分解成無害物質。生物處理法運行費用低，二次污染小，但處理條件嚴、持續時間長，占地面積大，故實際應用較少。焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機廢氣轉換成CO2與H2O，根據廢氣的焚燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機氣體分子分離，而凈化有機廢氣。適用于集成電路產業的有機廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。

催化燃燒電氣控制系統工作過程分為三個狀態

催化燃燒裝置由PLC控制器、文本顯示器、變頻調速器、點火器、紫外線傳感器、熱電偶等電控設備以及風機，另外由零壓閥調節燃氣與空氣的比例。催化燃燒電氣控制系統工作過程分為三個狀態：燃燒器工作狀態、停止狀態及參數設定狀態。在工作狀態中又分為點火過程和燃燒過程。由安裝的熱電偶檢測出溫度，送文本顯示器顯示。PLc具有模擬量輸入、輸出模塊，檢測火焰燃燒信號和熱電偶溫度信號，將檢測到的信號與設定的信號經過比較運算后，通過0～10 V電信號控制變頻器的輸出頻率來調整風機的轉速，保持燃燒器的燃燒溫度，這就是構成以設定溫度為基準的控制系統；自動檢測燃燒器溫度信號與設定的溫度比較，輸出各類報警信號或直接停機。顯示器可以顯示燃氣流量、燃燒溫度和變頻器輸出頻率。設定參數和工作狀態等信息；可以通過顯示器在線調整運行溫度參數，修改設定溫度控制風機的運行。該系統還設有多種保護功能，尤其是較強的邏輯互鎖功能，從而保證系統工作可靠，并且具有較為完善的控制功能。

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催化燃燒是典型的氣

催化燃燒是典型的氣-固相催化反應，其實質是活性氧參與的深度氧化作用。在催化燃燒過程中，催化劑的作用是降低活化能，同時催化劑表面具有吸附作用，使反應 物分子富集于表面提高了反應速率，加快了反應的進行。借助催化劑可使有機廢氣在較低的起燃溫度條件下，發生無焰燃燒，并氧化分解為CO2和H2O，同時放出大量熱能。

當有機廢氣的流量大、濃度低、溫度低，采用催化燃燒需耗大量燃料時，可先采用吸附手段將有機廢氣吸附于吸附劑上進行濃縮，然后通過熱空氣吹掃，使有機廢氣脫附出來成為濃縮了的高濃度有機廢氣（可濃縮10倍以上），再進行催化燃燒。此時，不需要補充熱源，就可維持正常運行。