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Parylene氣相沉積涂敷工藝

　 在微電子領域，近些年Parylene應用發展較快，真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細尺寸的涂層，而且該涂層可用微電子的加工工藝進行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下超大規模集成電路制作中,還作為一種低介電常數材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene，更被國外集成電路研究者所青睞，用作多層集成超大規模集成電路的層間絕緣介質。 　　 　　Parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時，在工作上有很強的滲透性，能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態小分子在工作表面直接聚合成固態的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應力，對工件能進行表面加固，但不會引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

        鐵氧體磁性材料及稀土永磁：高導磁軟磁鐵氧體小磁芯以其體積小、性能高、用量大、市場前景好被我國磁性材料行業作為今后10-15年的發展產品。這些產品的表面采用Parylene來涂上一層保護層，以增強產品表面的絕緣性、堅固性、光滑性。這種涂層是傳統的還氧噴涂所沒有的；稀土永磁產品在汽車、音箱、磁療、電機等領域的運用大。但是這類產品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產品的耐鹽霧時間能達到70-100小時。而采用Parylene可以達到300-500小時。其耐腐蝕時間是前者的4-5倍。磁性材料（絕緣、防銹、防線傷、填補穩定特性制作）。

       Parylene可以改變橡膠制品的表面特性，改變橡膠制品的摩擦性能、觸感、耐化學藥品溶脹、耐靜穿性能等。

       硅橡膠經Parylene Coating后可以在硅膠按鍵產品的表面形成的一種均勻而極薄（2-3 μm）、且與原產品表面輪廓相同的聚合物保護層。經過Parylene后的產品，具有良好的屏障特性、光學性能、熱性能以及良好的抗磨擦能力，使用壽命延長。

       密封墊：儲油、儲氣裝置上的密封墊的表面經過Parylene Coating后，可以起到防泄漏的作用。