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發布時間:2020-12-29 07:03  
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非標定制各種真空腔體
1.腔體常規材質:不銹鋼304,可定制不銹鋼316、316L腔體,弧焊接,表面特殊工藝,拋光處理,外表美觀,
2.按ISO9001質量管理體系組織設計、加工、裝調、檢驗、包裝、運輸;
3.提供該設備的技術檢測報告;
4. 腔體設有快開進樣門,鉸鏈機構,移動靈活,快開門密封件材質采用氟橡膠;
5. 法蘭接口、腔體大小根據客戶需求定制;
6. 腔室內外徹底超聲波清洗,表面清潔;
6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
8. 配合適的真空系統,真空度可進入10-6Pa;
9. 供貨周期:確認方案后5到6周;
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真空腔體的優勢及特性
——按照客戶要求,加工訂制;
——專業出圖設計;
——可配套固定真空機組系統;
——耐高溫、耐腐蝕;
——高質量、高精度;
加工工藝,完全采用真空焊接技術拼裝焊接;
先進的真空撿漏設備,更加保證產品的優越性;
超高真空主要應用在離子鍍膜、高真空半導體設備、實驗室設備等對環境要求極高的真空領域。
真空腔體制造技術介紹
真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學器件和材料制造中,是一種能適應高真空環境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動軸以及輔助井——這些構成一個完整的真空腔體。
復雜的真空腔體通常需要定制,即針對應用終端進行專門的設計和制作。某些常見的真空腔體已經過預先設計,如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環境,可用于焊接,或用于塑料制品、復合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。
真空腔體中抽氣管道的設計原則
為一個工藝選擇真空泵時,工藝室和泵之間的抽氣管道可能和泵的選擇一樣重要。要使腔體抽氣速率達到大,需要筆直的抽氣管道(長度短)并使用直徑盡可能大的管道。
看起來似乎很簡單,但是這里有許多因素需要考慮。實際上,如果我們從物理學角度考慮,就可以明確哪些是關鍵因素。真空腔體
在穩定狀態的條件下,如果抽氣管道內沒有氣源(泄漏)或氣體減少(冷凝),抽氣管道任何截面的質量流量必須相同。簡單而言,進入工藝室的氣體必須從泵出來。
已知氣體摩爾流量為M(公斤/摩爾)、抽氣速率為S(立方米/秒)、壓力為P(帕)、溫度為T(開爾文),則質量流量計算如下:
質量流量(公斤/秒)=(M*P*S)/(Ro*T)
Ro=通用氣體常數
對于大多數抽氣系統而言,氣體溫度(T)在抽氣管道中不會顯著減少,而且可以合理地假定為恒定的。
在此情況下,抽氣管道任何截面(P*S)的乘積(稱為通量)相同。真空腔體
由于抽氣管道的壓力差是氣體流動的推動力,可見壓力(P)必須在工藝室中為高值,在泵入口為低值。
由于我們假定通量恒定,可見抽氣速率(S)在工藝室為小值,在泵入口為大值(等于泵速)。