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發布時間:2020-12-09 06:24  
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CT系列鍍膜機
CT(Custamued workstation)系列鍍膜機系我司非標定制產品,根據您的要求單獨設計,滿足您的特殊需要。
特點:1、按需開發,量身定制。
2、整機采用柜式結構,密封性能好,防塵防水,安全。
3、磁控、熱蒸發多種鍍膜方式可選
4、可集成手套箱系統
5、可集成多種自動化應用
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真空鍍膜機
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
需要鍍膜的被稱為基片,鍍的材料被稱為靶材。 基片與靶材同在真空腔中。蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。 對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且終沉積在基片表面,經歷成膜過程,終形成薄膜。再比如工件轉架的軸承有些卡,就要更換軸承,而等到它徹底的壞了再換,問題可就大了,可能引起轉架電機燒毀等現象。
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真空鍍膜設備真空泵的選擇
真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
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真空鍍膜機部件分析
真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用1多的有直徑1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔體由不銹鋼' target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。在光學儀器中人們熟悉的光學儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀,以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等,它們都離不開鍍膜技術,鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。
輔助抽氣系統:排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。艾明坷科技有限公司主營手套箱,如需了解更多詳情,歡迎與我們交流。