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發布時間:2021-08-26 08:39  
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真空鍍膜設備需要的環境要求
真空鍍膜設備要在真空條件下工作,因此該設備要滿足真空對環境的要求。真空對環境的要求,一般包括真空設備對所處實驗室(或車間)的溫度、空氣中的微粒等周圍環境的要求,和對處于真空狀態或真空中的零件或表面要求兩個方面。
這兩個方面是有密切聯系的。周圍環境的好壞直接影響真空設備的正常使用;而真空設備的真空室或裝入里面的零件是否清洗,又直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵,在真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣,要達到預期的真空度很難的。眾所周,油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體,當大量抽除可凝性氣體時,對泵油的污染會更加嚴重,結果使泵的極限真空下降,破壞了泵的抽氣性能。
工業環境中的粉塵是以粉狀體、眼無題、粉塵來區分的。粉狀體是粉末或固體顆粒的集合或分散狀態的物質。所謂粉末是指微小的固體顆粒的集合,而顆粒是指能夠一個一個計數的微小物質。煙霧體是以固體或液體的微小顆粒呈浮狀態存在于氣體中的物質體系。物質無論是固體還是液體,凡是呈顆粒狀態均可統稱為塵粒。以塵粒直徑的大小來確定空氣清潔度的標準,從而定制出潔凈室的等級。不僅適合于有潔凈要求的工業部門,也適合于真空對潔凈環境的要求。
維修真空鍍膜機一定要按照步驟操作
日常生活中,我們使用真空鍍膜設備都會維護,但是很多人維護的方法都很不對,也不按照步驟來拆卸和安裝真空鍍膜機,今天我們就來介紹下真空鍍膜機的維護步驟吧:
首先我們要保證鍍膜機與地面充分接觸,擴散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水并開維持泵。擴散泵和增壓泵停止工作,維持泵半小時后才能關,1小時后斷水,但泵內未冷卻至80℃以下時,不得切斷冷卻水,以防止泵芯燒毀。
擴散泵和增壓泵各留有備用水出口,若鍍膜機故障或停電必須開備用出口讓其冷卻擴散泵和增壓泵,鍍膜工作前必須接通全部設備冷卻進水,以防止電極和基體材料燒毀。擴散泵和油增壓泵在加熱情況下,切勿與大氣接觸,以免泵油氧化,定期檢查和調整水流繼電器,檢查斷水報警是否正常,保證設備冷卻水供水暢通,在拆裝鍍膜機各機件時,應注意保護各密封工作面不受機械劃傷或損傷,以保證鍍膜設備密封性能可靠。
設備各傳動轉軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封內間均充以飽和油蒸汽壓很低的真空油脂和擴散泵油。使用一段時間即會損耗,必須以相同的真空油脂和擴散泵油充入,決不能用其他油品代替。
真空鍍膜機真空室形變帶來的影響
為盡量減小真空鍍膜機真空室形變帶來的影響,我們將導軌、絲桿等傳動件固定于一個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采用點、線、面活性支撐,以吸收和隔離形變,并設置形變補償調節機構,在系統抽真空之前,參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量,以使其在真空狀態下達到平衡。
為了驗證有限元計算的結果,對真空室的形變和補償進行了測試。首先,將四只千分表定位在工作臺安裝基點的真空壁外側,當真空室由大氣抽到真空時,記錄各千分表的變化量,經處理后為用激光自準直儀調整設備形變補償。
由水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定于工作臺上的反射鏡,在大氣環境下調整設備形變補償調節機構,使反射光束進入自準直儀接收視場,記錄兩維角度偏差。
按有限元計算的真空狀態下的補償量再次調整,顯然,此時的反射光束已遠離自準直儀接收視場,但一旦真空室進入真空狀態,反射光束又重新進入自準直儀的接收視場,記錄此時的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。
工作臺運動副的潤滑及對真空環境的影響工作臺的掃描是處于真空室環境下的頻繁運動,除用滾動代替滑動來降低摩擦系數外,在導軌、絲桿等運動副之間采取良好的潤滑是保證刻蝕裝置長時間正常運行的必要條件。
真空中的潤滑的方式通常有鍍固體潤滑膜和直接使用潤滑劑等鍍膜容易破壞導軌的運動精度,且工藝復雜。
為此,我們測試了一種市場商品――二硫化鉬潤滑劑的潤滑效果,將該潤滑劑直接噴涂在運動副表面,并用四極質譜儀分析了該潤滑劑在真空中揮發出的氣體的主要成分。