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發(fā)布時(shí)間:2021-03-20 18:45  
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壓電陶瓷執(zhí)行器因其體積小、位移分辨率高、響應(yīng)速度快、輸出力大、換能效益高等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡、自適應(yīng)
/主動(dòng)光學(xué)元件、納米定位、振動(dòng)控制、聲學(xué)、聲納、微流體輸送等領(lǐng)域中[1]。對(duì)于壓電陶瓷穩(wěn)定工作很多困難亟待解決,其中迫切的就是驅(qū)動(dòng)電源,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源技術(shù)己成為目前壓電陶瓷執(zhí)行器應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)之一[2]。
壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)電源主要有電壓控制型和電流/電荷控制型兩種[3],從實(shí)現(xiàn)方式上主要有線(xiàn)性和開(kāi)關(guān)式兩種[4]。電壓控制型壓電陶瓷執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)電源有以下幾種方式:
1)線(xiàn)性直流放大式電源直接采用高壓運(yùn)算放大器的方式具有靜態(tài)性能好、集成度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),但由于高壓運(yùn)算放大器的輸出電流一般都小于200mA,
因此壓電陶瓷執(zhí)行器的動(dòng)態(tài)性能受到限制。
在各種精密陶瓷中,以電子陶瓷的應(yīng)用樣,市場(chǎng)也大,由於其優(yōu)異的特性,且具有一些特殊的性能,如壓電性、焦電性等,使它在電子工業(yè)上占有一個(gè)非常重要的地位,其特性分述如下:
陶瓷具有相當(dāng)優(yōu)良的環(huán)境穩(wěn)定性,比如抗酸抗堿性,耐高溫低溫,耐磨耐壓,因此可以
應(yīng)用在相當(dāng)嚴(yán)苛的條件之下,擴(kuò)大了應(yīng)用的范圍。
在各種精密陶瓷中,以電子陶瓷的應(yīng)用樣,市場(chǎng)也大,由於其優(yōu)異的特性,且具有一些特殊的性能,如壓電性、焦電性等,使它在電子工業(yè)上占有一個(gè)非常重要的地位,其特性分述如下: