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常見的真空鍍膜材料

氧化物一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5，五氧化二鈮Nb2O5，五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3，氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。

其它化合物硫化鋅ZnS，硒化鋅ZnSe，氮化鈦TiN，碳化硅SiC，鈦酸鑭LaTiO3，鈦酸鋇BaTiO3，鈦酸鍶SrTiO3，鈦酸鐠PrTiO3，硫1化鎘CdS等真空鍍膜材料。

金屬鍍膜材料高純鋁Al，高純銅Cu，高純鈦Ti，高純硅Si，高純金Au，高純銀Ag，高純銦In，高純鎂Mg，高純鋅Zn，高純鉑Pt，高純鍺Ge，高純鎳Ni,高純金Au，金鍺合金AuGe，金鎳合金AuNi，鎳鉻合金NiCr，鈦鋁合金TiAl，鋅鋁合金ZnAl，鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。油擴散泵的應用壓強范圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現象來排氣的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大等特點。　

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真空鍍膜系統

工藝氣體輸入系統

工藝氣體，如氣(Ar)、氣(Kr)、氮氣(N2)、(C2H2)、(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等，一般均由氣瓶供應，經氣體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體流量計、電磁閥、壓電閥，然后通入真空室。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。這種氣體輸入系統的優點是，管路簡捷、明快，維修或更換氣瓶容易。各涂層機之間互不影響。也有多臺涂層機共用一組氣瓶的情況，這種情況在一些規模較大的涂層車間可能有機會看到。它的好處是，減少氣瓶占用量，統一規劃、統一布局。缺點是，由于接頭增多，使漏氣機會增加。而且，各涂層機之間會互相干擾，一臺涂層機的管路漏氣，有可能會影響到其他涂層機的產品質量。此外，更換氣瓶時，必須保證所有機臺都處于非用氣狀態。

如何選擇真空鍍膜設備供應商

是否需要配置低溫捕集器PolyCold，低溫捕集器可以說是一種錦上添花的設備，它能夠大大提高抽氣的速度，將真空室內的可凝性氣體吸附在冷盤管上，凈化真空室內的氣氛，使膜層質量更好，在炎熱潮濕的夏季，低溫捕集器的使用無疑在很大程度上，提高了生產效率。真空鍍膜機的詳細結構高真空鍍膜機，鍍膜機是目前制作真空條件應用最為廣泛的設備。

冷卻水循環系統，鍍膜機需要配置冷卻水循環系統，冷卻水好使用去離子水，對于防腐蝕有很大的作用，特別是真空室的焊道，一些容易生銹的部件等都有很好的抑制作用，可以在去離子水中添加一些防腐劑，也可以防腐蝕。