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流量控制器基本原理

通過測量氣體流經流量器內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。浸入式熱式質量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式質量流量計更適合于大管徑。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。

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流量控制器分類

熱式質量流量器根據熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1．接觸式熱式質量流量器這種質量流量計的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計，適于測量氣體的較大質量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體,包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。測量高流速、有腐蝕性的流體時不宜選用，這是接觸式的缺點。

2．非接觸式熱式質量流量器這種流量計的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點。

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流量控制器能用于控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的，所以對來自管線及現場環境的振動要盡量設法避免。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于鹵族干燥氣體。質量流量控制器原理質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠;  三氯化硼等——需要采用全氟橡膠。

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流量控制器安全使用準則

①質量流量控制器應用的成功與否，與安裝有直接關系。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動影響，因為質量流量控制器是基于振動原理工作的，外加振動會引入干擾。其基本技術指標已達到先進水平，每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，多種輸出能滿足您的各種需求。但盡可能小的外界干擾對測量無疑是有益的，所以對來自管線及現場環境的振動要盡量設法避免。

②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定，質量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表，零點的漂移對測量結果有影響，長期使用時一定要定期進行標定。

③一定要避免超過使用質量流量控制器范圍的情況發生，這會引起儀表測量度的下降，嚴重時會導致儀表損壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會使檢測線圈損壞而使儀表無法再使用。

④質量流量控制器度高，其價格也很高，這就要求對其精心維護，如給其配備高質量的穩壓電源，對現場的振動及使用條件進行經常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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