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發布時間：2021-03-22 21:02
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凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
根據潔凈室車間空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型：循環空調機配合送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU循環系統。
無塵室對環境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態、照度等都有嚴格的規定，保證了產品的生產質量和人員工作環境的舒適。空氣過濾器在使用中，其阻力達到初阻力的2倍時，則可更換，但為了減少系統運行中的電耗，如果經濟上又合理時，則可以在空氣過濾器的阻力達到初阻力的1。整個無塵室系統配有一套采用初效、中效、有效過濾器的三級過濾器的空氣凈化系統，控制潔凈區內塵粒數以及沉降菌和浮游菌數等，作為末端過濾裝置有效過濾器決定著整個凈化系統的運行效果，因此對于有效過濾器的更換時間把握就非常的重要。
1、耐火等級和防火分區
從許多潔凈室火災實例中我們不難發現，嚴格控制建筑物的耐火等級十分必要，設計時將廠房的耐火等級定為一、二級，使其建筑構件的耐火性能與甲、乙類生產廠房相適應，從而大大減少了火災發生的可能性。
限制防火墻間的面積，設置防火分區，一是可以控制火災蔓延，減少火災損失；二是便于火場撲救，使消防人員既容易在現場尋找火源，也容易安全撤離。
潔凈實驗室的規劃設計裝飾應留意哪些要點？
① 醫院潔凈手術室數量一般按照住院總床位數的2％，或者外可病房總床位數的4％來確定。
② 普通的縣醫院潔凈室以潔凈度（萬級）為宜，不需盲目增設高等級手術室，以防形成浪費。
③ 首要必備用房按照潔凈區、潔凈區、污染區來區分。
④ 潔凈手術室不宜在首層和搞修建的頂層。如果建立在頂層，需多面考慮無眠的保溫隔熱及雨水浸透問題。
⑤ 做好防火分區。
⑥ 潔凈手術室不能增設外窗，應選用人工照明
