福州制冷系統(tǒng)檢漏儀擇優(yōu)推薦「在線咨詢」

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

分析器

分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)，從而將它們彼此分開(kāi)，僅使氦離子通過(guò)其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成，如圖4所示。磁場(chǎng)方向與離子束入射方向垂直。

由離子源出來(lái)的離子束射入它垂直的磁通密度為B的均勻磁場(chǎng)分析器中后，由于分析場(chǎng)中電場(chǎng)為零，所以離子僅受磁場(chǎng)的洛倫茲力作用而作半徑為R的圓周運(yùn)動(dòng)。偏轉(zhuǎn)半徑R與質(zhì)荷比M/Ze有關(guān)，當(dāng)B及U一定時(shí)，相同質(zhì)荷比的離子具有相同的運(yùn)動(dòng)半徑，不同質(zhì)荷比的離子將以不同的半徑偏轉(zhuǎn)而彼此分開(kāi)。質(zhì)荷比小的偏轉(zhuǎn)半徑小，質(zhì)荷比大的偏轉(zhuǎn)半徑大。在偏轉(zhuǎn)180°處，用一分析器出口電極將其他離子擋住，而使氦離子軌道對(duì)準(zhǔn)出口電極上的狹縫，氦離子穿過(guò)狹縫到達(dá)離子收集極形成氦離子流。

真空系統(tǒng)一般包括：

1）主泵。一般用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應(yīng)與氣載匹配。

2）前級(jí)真空泵。一般采用旋片式機(jī)械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa，抽速與主泵匹配。

3）預(yù)抽真空泵。一般與前級(jí)真空泵共同一個(gè)泵，也有預(yù)抽真空泵的。預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。

4）冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離，如圖5所示。冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來(lái)的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。

5）檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。有些儀器采用節(jié)流閥，控制流入質(zhì)譜室的氣體流量。

6）真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來(lái)測(cè)量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測(cè)量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級(jí)壓力的。

7）標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔（大多為薄膜滲氦型），用它來(lái)校準(zhǔn)儀器的小可檢漏率和對(duì)儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。

怎么樣影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度

受到檢測(cè)壓力的影響

泄漏率對(duì)測(cè)試壓力的依賴性，對(duì)不同的測(cè)量條件是不同的。一般而言，對(duì)于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時(shí)，試驗(yàn)壓力對(duì)泄漏率的影響較大，而對(duì)于多孔性較低時(shí)則影響較小。另外，隨測(cè)試壓力的，還會(huì)帶來(lái)諸如溫度影響，所需穩(wěn)定時(shí)間加長(zhǎng)等一系列問(wèn)題。因此，建議對(duì)特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進(jìn)行泄漏檢測(cè)，然后選擇一個(gè)滿足測(cè)試要求的較低的壓力確定為終的測(cè)試壓力。試漏機(jī)試漏壓力的選擇必須充分考慮被測(cè)零件各個(gè)機(jī)構(gòu)對(duì)于測(cè)試壓力的承受能力。