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發布時間:2021-06-16 10:53  
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真空腔體的優勢及特性
——按照客戶要求,加工訂制;
——專業出圖設計;
——可配套固定真空機組系統;
——耐高溫、耐腐蝕;
——高質量、高精度;
加工工藝,完全采用真空焊接技術拼裝焊接;
先進的真空撿漏設備,更加保證產品的優越性;
超高真空主要應用在離子鍍膜、高真空半導體設備、實驗室設備等對環境要求極高的真空領域。
真空腔體概述
真空設備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導件,視口設置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統,蒸發源和蒸發材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設備,離子注入設備,真空爐,真空泵,法蘭,閥門和管件等。真空設備常用于脫氣,焊接,制備薄膜涂層,生產半導體/晶圓、光學器件以及特殊材料等。
基板指的是一個大的法蘭適配器,可以把一個位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵。基板通常有一個位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置,可連接到真空抽氣系統。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結構,一般帶有鉸鏈接口,可連接不需要高真空環境的其他裝置,如塑料樣品、血液、粘合劑、化學制品或其他液體的除氣設備。
輔助井用于連接抽氣系統和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸,用焊接接頭取代一個真空密封件,可以同時實現基板和密封設備兩個部件的功能。
沈陽鵬程真空腔體制造技術
提供設備腔的定制服務,腔體的外形和開口可以根據用戶要求進行設計。
表面分析腔有通用腔體,用戶也可以在通用腔體的基礎上進行自定義設計。
手套箱和焊接箱于熔煉或焊接鈦、鋅等對易在大氣中氧化的材料。
真空密封頸是基板和鐘形罩之間的過渡組件,它可以提供額外的高度和更多的自由端口。
裝載鎖定室是建在主腔體上的特別制作小腔體,可在不破壞主腔體真空度的條件下,將樣本、晶片或其他組件從外部大氣環境移動到內部高真空環境中。