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發布時間:2020-11-08 07:08  
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廠區環境的清潔要求是什么?
廠區環境的清潔要求是什么? 1)生產區、生活區、輔助區分開,物流分開。 2)廠區內的清潔設備要清潔、曉暢,無堵塞物及排泄物,由專人及時打掃、消毒。 3)廠內車輛及其他物品須放在規則區域,不得在其他當地任意堆積。 4)廠區環境清潔規整,無雜草和積水、無蚊蠅孳,空氣質量契合國家規則的大氣標準。 5)生產區內無廢物和廢物,廠區外的廢物站有必要遠離生產區,有隔離消毒辦法,并及時清運,不對廠區環境形成污染。
常用的水冷式螺桿式冷水機組
潔凈室的冷熱源機組: 桿式冷水機組 螺桿式冷水機組是由螺桿式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發器、熱力膨脹閥、油分離器、自控元件和儀表等組成的一個完整的制冷系統。常用的水冷式螺桿式冷水機組冷凝器進出水溫分別設置為32℃、37℃,蒸發器出口冷凍水溫度設置為7度,冷量范圍為580~1163kW。 離心式冷水機組 離心式冷水機組是由離心式制冷壓縮機、冷凝器、蒸發器、節流機構和調節機構以及各種控制元件組成的整體機組。離心式冷水機組的制冷量較大,常用的水冷式離心式冷水機組冷凝器進出水溫分別設置為32℃、37℃,蒸發器出口冷凍水溫度設置為7度,單機容量通常在1163kW以上,所以,離心式冷水機組一般用于大型中央空調系統。 在潔凈工程技術水平上,80年代末期,國外已大量建成0.1微米級的超凈室,1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米,NIT原木則建成了四個1000平方米控制0.1微米塵埃的千級廠房,換氣次數高達300次/分。美國在臺灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達10000平方米。

潔凈級別6級和7級是比較常見的,我們選用了這兩個級別
通過對歷年工程實例的統計,在電了廠房的設計中,潔凈級別6級和7級是比較常見的,因此我們選用了這兩個級別作為本次實驗的模擬環境,并區分采用過濾器和采用FFU方案,在選用外資、合資與國內品牌產品的情況,進行模擬。為了區別紛繁復雜的實際情況,我們對模擬對象進行了適當簡化,實驗的基本情況如下: (1)本次模擬對象為約3300平方米的普通電子潔凈室。潔凈室具體情況見圖1和圖2。 (2) 終端設備采用兩種方案進行設計:方案1采用過濾器;方案2采用 FFUO (3) 計算范圍:本次計算的工程量僅含潔凈室冷凍供應系統及空調凈化系統的設備及安裝材料(風管、閥門、風口)等,不包括潔凈室配套的土建裝飾、照明、控制等費用。

我國使用的0
我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴,0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當高的比例,這與集成電路工藝不斷更新,產品更新換代周期越來越快的發展趨勢不相適應,嚴重制約了大規模集成電路技術的發展。美國ASYST公司、德國MW公司發展的使用隔離技術的亞微米生產微環境系統設備和技術在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術在100級潔凈度的潔凈廠房中,采用工藝設備局部使用隔離技術的微環境,把投資比例壓縮到別的微環境,消除了操作者與工藝設備運行的二次污染源產生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。
