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發布時間:2020-12-10 11:06  
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液環泵在工作過程中會產生熱量,主要熱量包括:真空泵/壓縮機的無效功率;吸入氣體溫度較高帶來的熱量;吸入氣體含有可凝性氣體在壓縮過程中釋放出相變熱,換熱器的主要作用是通過冷卻水冷卻工作液,使工作液溫度保持在合理的范圍內。
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半導體真空泵應用時,抽取介質過程中經過反應室與真空泵,其成分可能極為復雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設是油封式機械泵,這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質,就可能堵塞真空泵或管路系統,影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗,并在必要的時候設置過濾設備。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。
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半導體易產生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應用中在抽取這些介質時就必須防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質,在與空氣或氧接觸的時候,會引起燃燒甚至;氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發生燃燒。這些都取決于該物質的量以及與環境的壓力、溫度的關系。因此半導體真空泵在抽取這些介質時,需要用氮氣之類的惰性氣體,在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍。棗莊造浪真空泵公司青島造浪真空泵質量好棗莊造浪真空泵公司有實力。
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