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當施加的電壓達到氣體的點火電壓時，氣體被分解，產生包括電子、各種離子、原子和自由基的混合物。雖然放電時電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個系統處于低溫狀態。電催化技術降解污染物是利用高能電子、自由基等這些活性粒子在極短的時間內分解污染物，然后進行各種后續反應，達到降解污染物的目的。

等離子體是物質存在的第四種狀態，除了固體、液體和氣體。它具有宏觀電中性和高導電性。等離子體包含大量的活性電子、離子、激發態粒子和光子。這些活性粒子與氣體分子碰撞的結果是產生大量強氧化性自由基，有機分子被這些強氧化性物質氧化，降解為CO2和H2O。

機理介紹：有機廢氣先通過熱交換器預熱到200～400℃，再進入燃燒室，通過催化劑床時，碳氫化合物的分子和混合氣體中的氧分子分別被吸附在催化劑的表面而活化。由于表面吸附降低了反應的活化能，碳氫化合物與氧分子在較低的溫度下迅速氧化，產生二氧化碳和水。

優缺點:和直接燃燒法相比，溫度低、節能、凈化率高、操作方便。但是催化劑、不耐高溫，而且投資較大。

適用條件:適用于高溫或高濃度的有機廢氣。

吸收法處理技術是將化學方式運用過來，以液體溶劑作為吸收劑，使廢氣中的有害成分被液體吸收，從而達到凈化的目的，其吸收過程是根據有機物相似相溶原理，常采用沸點較高、蒸氣壓較低的柴油、煤油作為溶劑，使VOC從氣相轉移到液相中，然后對吸收液進行解吸處理，回收其中的VOC，同時使溶劑得以再生。對工業廢氣中的污染物質進行吸收和溶解，從吸收劑中分理出不同物理特性的污染物，統一科學的處理，達到凈化工業廢氣的目的。