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              低壓化學氣相沉積來電咨詢「在線咨詢」

              發布時間:2020-12-27 23:27  

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              四種常見的真空鍍膜材料


              1.氧化物:一氧化硅SiO,二氧化硅SiO2,二氧化鈦TiO2,二氧化鋯ZrO2,二氧化鉿HfO2,一氧化鈦TiO,五氧化三鈦Ti3O5,五氧化二鈮Nb2O5,五氧化二鉭Ta2O5,氧化釔Y2O3,氧化鋅ZnO等高純氧化物鍍膜材料。

              2.氟化物:氟化釹NbF3,BaF2,氟化CeF3,氟化鎂MgF2,LaF3,氟化釔YF3,氟化鐿YbF3,氟化鉺ErF3等高純氟化物。

              3.其它化合物:硫化鋅ZnS,硒化鋅ZnSe,氮化鈦TiN,碳化硅SiC,鈦酸鑭LaTiO3,鈦酸鋇BaTiO3,鈦酸鍶SrTiO3,鈦酸鐠PrTiO3,CdS等真空鍍膜材料。

              4.金屬鍍膜材料:高純鋁Al,高純銅Cu,高純鈦Ti,高純硅Si,高純金Au,高純銀Ag,高純銦In,高純鎂Mg,高純鋅Zn,高純鉑Pt,高純鍺Ge,高純鎳Ni,高純金Au,金鍺合金AuGe,金鎳合金AuNi,鎳鉻合金NiCr,鈦鋁合金TiAl,銅銦合金CuInGa,銅銦硒合金CuInGaSe,鋅鋁合金ZnAl,鋁硅合金AlSi等金屬鍍膜材料。這是因為(1)電子槍發射的電子束經聚焦后可達到極高的能量密度,轟擊坩堝鍍膜材料,可使其溫度達到3000℃以上,遠比電弧溫度高。





              針對印刷線路板、混合電路的涂層防護是Parylene普及的應用之一,它符合美國軍標Mil-I-46058C中的XY型各項指標,滿足IPC-CC-830B防護標準。Parylene的生物兼容性及其生物穩定性使其能夠提供良好的防潮、防化學和介電保護。在鹽霧試驗及其它惡劣環境下仍能保持電路板的高可靠性,并且不會影響電路板上電阻、熱電偶和其它元器件的功能。



              電子元件和電路組件的共形涂層必須滿足電絕緣和環境防護要求。在國外除了心臟起搏器用派瑞林進行可靠絕緣防護外,腦電極、植入式傳感器、射頻、血液分析傳感器和高頻手術刀等微型電子,也都有使用派瑞林。不斷小型化的電子產品對絕緣涂層的性能提出了更高的要求,部分原因是涂層機械體積與電路功能之間的關系,絕緣性涂層更重要的特點是涂敷的完整性和均勻性,以及它在物理、電氣、機械、屏蔽方面的性能。


              鐵氧體磁性材料及稀土永磁:高導磁軟磁鐵氧體小磁芯體積小、性能高、用量大;這些產品的表面必須采用Parylene來涂上一層保護層,以增強產品表面的絕緣性、堅固性、光滑性。這種涂層是傳統的還氧噴涂所無法達到的;稀土永磁產品在汽車、音箱、磁療、電機等領域的運用越來越廣泛。但是這類產品表面的耐腐蝕要求非常高。普通的電鍍、電泳處理的后的產品的耐鹽霧時間僅能達到70-100小時。使用高純度的Parylene作鈍化層和介質層,能提供安全、穩定的防護。而采用Parylene可以達到300-500小時。其耐腐蝕時間是前者的4-5倍。磁性材料(絕緣、防銹、防線傷、填補穩定特性制作)。