鳳崗多功能化學(xué)氣相沉積多重優(yōu)惠「多圖」

實(shí)踐證明，電子束鋼帶真空鍍膜具有很多優(yōu)點(diǎn)：

（1）可選擇的鍍膜材料多而不受材料熔點(diǎn)限制。能量密度很高的電子束可以使鍍膜材在很短的時(shí)間達(dá)到3000℃~6000℃。因此，除了熱鍍鋅中常見的鍍鋅、鋁、錫之外，幾乎所有的金屬材料都可以蒸鍍，還可鍍種類眾多的金屬氮化膜，金屬氧化膜和金屬炭化物及各種復(fù)合膜。這為發(fā)展新型帶鋼材料提供了很大的自由度。實(shí)踐證明，電子束鋼帶真空鍍膜具有很多優(yōu)點(diǎn)：（1）可選擇的鍍膜材料多而不受材料熔點(diǎn)限制。

（2）鍍膜材料利用率高，環(huán)境污染小。真空鍍膜屬干式鍍膜，沒有有害液體、氣體的產(chǎn)生。

真空PVD鍍膜基本步驟 

 前處理工藝褪膜、噴砂、拋光、鈍化、清洗、裝夾 鍍膜工藝抽真空、加熱烘烤、漏率測(cè)試、轟擊清洗、鍍膜、冷卻出爐 后處理工藝 

清洗：確保鍍膜前產(chǎn)品表面的清潔，越新鮮的表面，越能保證鍍膜質(zhì)量；

抽真空：將真空室內(nèi)的殘余氣體抽走加熱烘烤：爐體和工件同時(shí)加熱，加速殘余氣體的釋放壓升率測(cè)試：測(cè)試爐體的漏氣率和放氣率轟擊清洗：去除工件表面的雜志，露出新鮮表面鍍膜：沉積膜層冷卻：避免工件氧化變色

? 微電子、半導(dǎo)體：使用高純的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

?傳感器和換能器：自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，涂層無，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環(huán)境。 

?Parylene適用于微機(jī)電(MEMS)、半導(dǎo)體領(lǐng)域之優(yōu)點(diǎn)

*能進(jìn)行微米級(jí)微細(xì)制作和加工；

*與其它微細(xì)結(jié)構(gòu)材料有很好的相容性；

* 在微細(xì)結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機(jī)械性能；

*對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護(hù)性