鳳崗多功能化學氣相沉積多重優惠「多圖」

實踐證明，電子束鋼帶真空鍍膜具有很多優點：

（1）可選擇的鍍膜材料多而不受材料熔點限制。能量密度很高的電子束可以使鍍膜材在很短的時間達到3000℃~6000℃。因此，除了熱鍍鋅中常見的鍍鋅、鋁、錫之外，幾乎所有的金屬材料都可以蒸鍍，還可鍍種類眾多的金屬氮化膜，金屬氧化膜和金屬炭化物及各種復合膜。這為發展新型帶鋼材料提供了很大的自由度。實踐證明，電子束鋼帶真空鍍膜具有很多優點：（1）可選擇的鍍膜材料多而不受材料熔點限制。

（2）鍍膜材料利用率高，環境污染小。真空鍍膜屬干式鍍膜，沒有有害液體、氣體的產生。

真空PVD鍍膜基本步驟 

 前處理工藝褪膜、噴砂、拋光、鈍化、清洗、裝夾 鍍膜工藝抽真空、加熱烘烤、漏率測試、轟擊清洗、鍍膜、冷卻出爐 后處理工藝 

清洗：確保鍍膜前產品表面的清潔，越新鮮的表面，越能保證鍍膜質量；

抽真空：將真空室內的殘余氣體抽走加熱烘烤：爐體和工件同時加熱，加速殘余氣體的釋放壓升率測試：測試爐體的漏氣率和放氣率轟擊清洗：去除工件表面的雜志，露出新鮮表面鍍膜：沉積膜層冷卻：避免工件氧化變色

? 微電子、半導體：使用高純的Parylene作鈍化層和介質層，能提供安全、穩定的防護。

?傳感器和換能器：自動化控制和惡劣環境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護可以提高環境適應性和可靠性，涂層無，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環境。 

?Parylene適用于微機電(MEMS)、半導體領域之優點

*能進行微米級微細制作和加工；

*與其它微細結構材料有很好的相容性；

* 在微細結構中仍具有優良的電性能和物理機械性能；

*對微電子機械系統的使用環境有很好的相容性和防護性