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鍍膜機(jī)真空機(jī)械選擇

了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆粒灰塵，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

真空納米鍍膜機(jī)真空鍍膜的方式，我們?cè)谑┕さ臅r(shí)候會(huì)碰上各種各樣的問(wèn)題

　　(1)鍍膜機(jī)：快速成膜0.1—50/min，設(shè)備比較簡(jiǎn)單，容易操作;純度高，制備的薄膜;薄膜生長(zhǎng)機(jī)制比較簡(jiǎn)單。

　　(2)薄膜的附著力較小，結(jié)晶過(guò)程是重復(fù)性不夠好。

Parylene是這些組裝方式的防護(hù)材料，5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，因此在微機(jī)電系統(tǒng)中，Parylene是一的電介質(zhì)材料。同時(shí)，對(duì)傳感器的防酸、堿和及對(duì)水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有的阻隔防護(hù)能力。  

Parylene活性分子的良好穿透能力在元件內(nèi)部，底部、周?chē)纬蔁o(wú)氣隙的防護(hù)層。優(yōu)良的防潮、防化學(xué)品和耐溶劑性能優(yōu)良的介電絕緣性能、微米級(jí)的精密制作、極薄的膜層仍具極優(yōu)的電性能、物理機(jī)械性能和防腐蝕功能。

真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件（金屬、半導(dǎo)體或絕緣體）表面而形成薄膜的一種方法。例如，真空鍍鋁、真空鍍鉻等。

真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個(gè)重要方面，它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，利用物理或化學(xué)方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù)，為科學(xué)研究和實(shí)際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝。超聲波化學(xué)氣相沉積加工過(guò)程中的常見(jiàn)故障排除超聲波化學(xué)氣相沉積加工工藝流程比較長(zhǎng)、工序繁多，發(fā)生故障的影響因素會(huì)很多。簡(jiǎn)單地說(shuō)，在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或?yàn)R射，使其在被涂覆的物體（稱(chēng)基板、基片或基體）上凝固并沉積的方法，稱(chēng)為真空鍍膜。

Parylene涂層不僅有優(yōu)異的介電性能、低的介質(zhì)損耗和高的介電強(qiáng)度，同時(shí)具有優(yōu)良的機(jī)械性能和耐輻射性能。派瑞林納米涂層式一種高分子熱可塑性聚合體，由單體對(duì)二在真空狀態(tài)下均勻分布在被涂裝物的縫隙和表層然后聚合。Parylene如此高的介電強(qiáng)度主要?dú)w功于Parylene能形成連續(xù)無(wú)缺陷和無(wú)其它填充物的薄膜。Parylene具有優(yōu)異的尺寸穩(wěn)定性和低溫性能，在幾乎不改變器件尺寸的情況下提供1.5KV,2.0KV 甚至更高的耐電壓擊穿性能。因此，Parylene可用作微機(jī)電，微馬達(dá)的表面處理和絕緣體。使用高純度的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。