了解質量流量計用途

質量流量計是一種重要的流量測量儀表，也是平時測量中運用比較多的測量儀器，因此對質量流量計用途特點了解?能夠幫助測量者更好的測量。

氣體質量流量計通常用標準狀態下的體積流量來表示，質量流量單位規定為: SCCM --- 標準毫升/分 , SLM --- 標準升/分標準狀態指：溫度—0℃, 氣壓—101325Pa(760mm Hg)。因為在標準狀態下，氣體的密度是一個常數，密度乘以體積流量就等于質量流量，所以標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。質量流量計和質量流量控制器在使用過程中，無論工作氣體的溫度、壓力如何變化，它所顯示的流量總是標準狀態下的體積流量。這是質量流量計的主要優點。

用途和特點：質量流量控制器 (MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，質量流量計（MFM）僅用于測量氣體的質量流量。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 微電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

質量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等特點, 其操作使用方便, 可任意位置安裝, 并便于與計算機連接實現自動控制。www.bronkhorst-china.com