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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應室是真空還是高壓, 應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內, 并且要求氣壓要相對穩定。(2)測量控制的自動化質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。

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流量控制器的性能參數

流量控制器的特點是：當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。

流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差，行業標準中的誤差要求小于等于8％，A類產品的誤差小于等于5％。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設計、加工和材質。

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分析流量控制器的應用領域

分流器決定主通道的流量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。與它配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源，數字電壓表，設定電位器，外設、內設轉換和三位閥控開關等。質量流量控制器抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩定可靠、對安裝要求低、對流體狀態要求低，壓力損失小等優點，且易清洗、具備自排空功能。

其基本技術指標已達到先進水平，每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，多種輸出能滿足您的各種需求。質量流量計，即MassFlowMeter（縮寫為MFM）,是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。可直接用來測量管道中介質的質量流量及總量、體積流量及總量、介質的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數。質量流量控制器即使在惡劣的工作環境下也能表現出優異的性能

提高流量測量系統的可靠性用于安全聯鎖報警的流量儀表如果不可靠，應該聯鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導致不應有的停車，造成損失。帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表，雖在測量管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。工業爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導致爐子熄火，釀成事故。用于過程控制的質量流量控制器儀表如果不可靠，容易為調節系統發出錯誤信息，導致調節系統失調，破壞生產過程的穩定，影響產品的質量、產量和物耗，造成損失。可以看出，流量儀表的可靠性是較為重要的。

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流量控制器

對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min）,這個要求是很容易實現的。流量控制器的穩定控制時間由于到達設定值后控制器可能會發生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數, 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說,在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。