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發布時間:2020-12-10 11:01  
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淄博齊韻泵業科技有限公司技術力量雄厚、制造設備精良,并有完善的質量管理體系,可為用戶設計、制造不同類型的真空泵、水泵及設備機組。
對于金屬內襯泵則將前面剛擰緊的螺母放松半圈。再將調整螺栓上前面的螺母擰緊,使軸承組件后移,此時葉輪與前護板間隙在0.5-1毫米,對于橡膠內襯泵通過擰調整螺栓上的螺母,使軸承組件先向前移動,使葉輪與前護套接觸,在使軸承組件向后移動,使葉輪與后護套接觸,測出軸承組件總水環真空泵的移動距離,取此距離一般作為葉輪與前后護套的間隙,再用調整螺栓調節軸承組件的位置,保證葉輪與前后護套的正確間隙值。調整后,在再次啟動前,須重新檢查葉輪轉動是否正常,軸承組建壓緊螺栓與調整螺栓是否擰緊,然后再啟動水環真空泵。
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加強管路及各連接處的安裝,是對水環式真空泵的幫助,這是它得以實現穩定運行的標志,也是通過這些細小的安裝工作,才真正體現出真空泵的使用度,通過運行平穩的證實,也就說明正確的安裝及良好的密封性,更加為生產過程增添了有利因素。
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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:
半導體真空泵應用時,抽取介質過程中經過反應室與真空泵,其成分可能極為復雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設是油封式機械泵,這些氣體物質還可能與泵油發生化反。這些變化假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質,就可能堵塞真空泵或管路系統,影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗,并在必要的時候設置過濾設備。
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