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真空泵維修中應注意的幾個要點

總裝配。零部件和各真空室分別裝好后,要試使其轉動一下,要保證其無阻滯絞絆現象。待上面的前端蓋裝好后,即可從上向下穿入拉緊螺栓,拉緊后即可將機座放平。調整各真空室的進氣管,使其在同一平面上,然后把拉緊螺栓擰緊,并試轉動連接桿,其轉力矩應小于100公斤,且無嚴重的局部阻滯感。后裝好排氣閥門、單向閥等。這時可轉動鏈輪。這樣各機座就已裝配完畢。 后按前述拆泵時相反次序裝配箱體部分。注意保證密封處不準漏氣，油密封室亦不準漏油。

在泵浦試運轉之前，放入真空泵油至視油鏡的中心位置，然后進行試抽，觀察泵浦的使用效果。

螺桿真空泵是一種干式運行，無接觸，螺桿型真空泵它的優點：

（1）工作腔內無任何介質，可獲得清潔真空。?

(2)?工作腔及螺桿表面有防腐蝕鍍層，可適應惡劣工況。

(3)?工作腔干式運行，適合抽除含有粉塵的氣體和可凝性的氣體。?

(4)?單臺泵可連續直排大氣，從大氣抽至5Pa以下，真空系統可大大簡化。

(5)?旋轉部件之間無摩擦，因而壽命長；?

雙級真空泵，屬于真空泵技術領域。由兩臺包括泵體及泵體上設置的吸氣口、排氣口，泵體內安裝的帶葉片槽和葉片的轉子構成的真空泵串聯連接，真空泵轉子上的葉片槽為偏離轉子軸心線的斜葉片槽，后級真空泵的吸氣口連接前級泵的排氣口。

雙級羅茨真空泵主要結構及原理:

1、轉子:轉子為羅茨真空泵的核心部件,設計加工要求高,經數控機床加工而成，每臺共四個,裝在對平行的軸上,每根軸上裝配尺寸同,兩個轉子;

2、殼體:根據定的抽速比例,殼體由中大小不-的兩個腔,也即高低真空腔;

3、同步齒輪:齒輪為羅茨真空泵的核心部件之一, 它來保證兩轉子的同步旋轉及保持轉子之間的間隙,齒輪表面經高頻淬火,然后由特殊的高精度磨削而成;

4、 被抽氣體從吸氣口先進入高真空腔,再通過中壁的氣通進入低真空腔,zui后經排口進入下一真空泵。

無油真空泵是一種隔膜真空泵，極限真空壓力大于0.08MPa，抽氣速度達20L/min，電機功率160W，無油節能真空泵，是一款使用，使用壽命長，替代無油節能真空泵公司，耐腐蝕程度高，設計新穎的真空泵。外置與我們的勻膠機配套使用，能夠提供可靠的真空負壓環境，保證基片的吸附牢靠。

另外，如果抽取的氣體對油有腐蝕性，或者含大量水分等可破壞油的物質，那就不能使用有油真空泵。因為有油真空泵里面的油一般是用來潤滑和密封的。油被腐蝕或者乳化等，真空泵就沒辦法正常運行了。節能：耗用功率只bai有原臥式泵或水環du泵的2/3。