半導(dǎo)體手套箱服務(wù)介紹“本信息長(zhǎng)期有效”

手套箱故障分析

一、循環(huán)啟動(dòng)不了

1. 工作氣壓力是否在0.4-0.6MPa之間；

2. 高真空擋板閥電磁開(kāi)關(guān)反饋是否正常；

3. 壓力傳感器是否顯示正常；

4. 風(fēng)機(jī)空開(kāi)是否跳閘；

5. 風(fēng)機(jī)變頻器是否正常；

6. 點(diǎn)循環(huán)后，繼電器是否同時(shí)亮兩個(gè)。

二、再生按鈕不起作用

1. 需輸入密碼；

2. 真空泵未打開(kāi)；

3. 此凈化柱正在循環(huán)（再生和循環(huán)不能同時(shí)在一個(gè)凈化柱上）。

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手套箱手套的安裝與維護(hù)

初次安裝手套箱請(qǐng)先將手套套在手套口上面，然后分別將內(nèi)外密封圈安裝，安裝后檢查一下，確定密封圈均在凹槽內(nèi)。

如果在使用過(guò)程中發(fā)現(xiàn)手套破損，應(yīng)及時(shí)更換，步驟如下：

1.把要替換的手套推倒箱體內(nèi)；

2.摘除掉外部的O型圈，再移動(dòng)里面的O型圈致手套口外部槽上；

3.把手套卷到外面的O型圈邊，注意不要讓手套從手套口上掉下來(lái)；

4.盡可能地壓縮新的手套，趕出里面的空氣；

5.把新的手套安裝到手套口上，套在舊手套上；

6.在新手套外部，手套口里面的槽上安裝O型圈；

7.如果可以，把新手套放入隔離開(kāi)的工作氣體環(huán)境中清潔（這樣能大程度去除空氣，減少進(jìn)入手套箱體內(nèi)的空氣量）；

8.從手套箱里面，用另一個(gè)手套把舊手套摘到箱體內(nèi)；

9.在新手套外面，手套口外部的槽上安裝上O型圈；

10.通過(guò)過(guò)渡艙把舊手套取出，妥善處置。

手套箱功能原理       

手套箱箱體內(nèi)的工作氣體在箱體與凈化柱（水氧吸附器）之間，在PLC的控制和監(jiān)視下，通過(guò)管道、循環(huán)風(fēng)機(jī)等進(jìn)行密閉循環(huán)。工作氣體循環(huán)經(jīng)過(guò)凈化柱時(shí)其所含水分和氧氣被吸附掉，然后再返回箱體內(nèi)，隨著循環(huán)時(shí)間的推移，箱體內(nèi)工作氣體中的水氧含量逐步減少，終達(dá)到小于1ppm的指標(biāo)。箱體壓力過(guò)高會(huì)造成手套箱自動(dòng)停止循環(huán)，檢查是否有工作氣持續(xù)補(bǔ)進(jìn)去。凈化柱在一定時(shí)間的循環(huán)后會(huì)吸附飽和，可進(jìn)行再生，重復(fù)使用。

帶凈化系統(tǒng)手套箱

目前行業(yè)內(nèi)常用的有手套箱。手套箱分類一、工業(yè)手套箱基本技術(shù)指標(biāo)：1、水含量小于1ppm。手套箱的除水除氧功能是靠?jī)艋牧蟻?lái)實(shí)現(xiàn)的，而凈化材料在吸附飽和后需要通過(guò)再生來(lái)恢復(fù)其活性，使其重新具有除水除氧功能。目前行業(yè)內(nèi)的一些廠家的產(chǎn)品還原清洗較頻繁，除了密封、凈化材料的再生工藝問(wèn)題外，存在凈化柱的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合理、高徑比設(shè)計(jì)不科學(xué)，通入的還原氣體流量控制不科學(xué)，每次還原再生不徹底等因素。

因此，尋求一種優(yōu)異的手套箱凈化再生系統(tǒng)，使得再生工藝中凈化材料加熱時(shí)更加均勻，還原更加徹底，提升凈化再生體系效能是整個(gè)行業(yè)迫切需要解決的問(wèn)題。

為了克服上述困難，提供一種帶凈化系統(tǒng)的手套箱，凈化再生效果好，凈化材料利用率高，艾明坷氣體凈化手套箱根據(jù)還原反應(yīng)在不同階段對(duì)還原氣體消耗量的差異，通過(guò)PLC程序自動(dòng)控制時(shí)間、調(diào)節(jié)氣體流量實(shí)現(xiàn)還原氣體流量自動(dòng)控制。4、手套箱不利用時(shí),應(yīng)將各個(gè)門打開(kāi),防止手套箱門由于卡扣長(zhǎng)時(shí)間擠壓而發(fā)生變形。手套箱氣體凈化系統(tǒng)提升了凈化材料的利用率，提高了手套箱箱體凈化的使用次數(shù)，降低了凈化柱還原的頻率。