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特氣系統知識分享：標準氣體

所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。系統采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式，在一拖多時能夠實現分段控制和在多拖一和多拖多時能夠實現切換控制。它分為調整零位用標準氣體(零位氣體)、監測環境用標準氣、工業分析用標準氣體、醫1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。由于使用了標準氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。

標準氣體應用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環保、切割、焊接、食品加工等工業部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領域對標準氣體的需求量相對較大。

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特種氣體使用安全

首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。特種氣體的應用電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統應采用焊接系統,機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規程。

其次,采用監測手段,預防事故發生。設置氣體泄漏偵測器,監控氣體泄漏。艾明坷科技有限公司主營手套箱，如需了解更多詳情,歡迎與我們交流。可燃性氣體應設置高溫或火焰偵測器。危險氣體應設置過流開關。特氣系統氣柜應進行負壓監測,防止抽風系統的失效。偵測系統應與報警和緊急切斷連鎖。系統還應進行遠程監控。監控系統應設置不間斷電源。

高純氣體的輸送管路系統

隨著微電子工業的發展，超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統提出了非常高的要求 。2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測試管路系統的泄漏率。