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正常情況下，油霧經排氣過濾器后，氣體排出，油被過濾下來重新使用。如果排氣過濾器堵塞，氣體排不出，就會將密封處頂開，油不經排氣過濾器過濾，直接排出到大氣。造成這方面的原因主要有三點：個是長期沒更換排氣過濾器，沒更換真空泵油，也就是說保養不及時。

第二點是使用劣質排氣過濾器，這會很容易造成排氣過濾器堵塞。

第三點是使用劣質真空泵油，我們建議，真空泵必須使用進口原裝油，如果是替代品也要是進口經過檢驗認證的。替代真空泵油會不耐高溫，泵油發生碳化，碳顆粒直接堵塞真空泵排氣過濾器，直接損害真空泵的壽命。

真空泵噴油，漏油。同上面說的原理一樣，可能是使用不合格的真空泵油堵排氣過濾器造成的。當泵內壓力大了，就能產生漏油。 真空泵噪音大，當泵內油路被堵塞，泵內缺油，就會產生噪音和高溫。這時就要進行大修了。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。

旋片泵是真空技術中基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓強的關系規定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。

擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。

離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

氣體捕集泵(真空泵的工作原理)這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。

1、吸附泵它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。

2、吸氣劑泵它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。