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反應(yīng)燒結(jié)法(RS)是采用一般成型法

反應(yīng)燒結(jié)法（ RS)

是采用一般成型法，先將硅粉壓制成所需形狀的生坯，放入氮化爐經(jīng)預(yù)氮化（部分氮化）燒結(jié)處理，預(yù)氮化后的生坯已具有一定的強(qiáng)度，可以進(jìn)行各種機(jī)械加工（如車、刨、銑、鉆).。然后，在硅熔點(diǎn)的溫度以上；γ相只有在高壓及高溫下，才能合成得到，它的硬度可達(dá)到35GPa。將生坯再一次進(jìn)行完全氮化燒結(jié)，得到尺寸變化很小的產(chǎn)品（即生坯燒結(jié)后，收縮率很小，線收縮率< 011% ). 該產(chǎn)品一般不需研磨加工即可使用。反應(yīng)燒結(jié)法適于制造形狀復(fù)雜，尺寸正常的零件，成本也低，但氮化時(shí)間很長(zhǎng)。

廢舊碳化硅和廢舊氮化硅有什么區(qū)別?

可是假如細(xì)心看的狀況下，廢舊碳化硅和廢舊氮化硅還是能夠 區(qū)別開的，一般氮化硅產(chǎn)品的色調(diào)是灰白，體積密度也比碳化硅產(chǎn)品的大。區(qū)別廢舊碳化硅和廢舊氮化硅主要是以便有效的標(biāo)價(jià)，不論是廢舊碳化硅還是廢舊氮化硅，我們?cè)谑召?gòu) 的情況下，主要是看碳化硅的含量的，一般碳化硅的含量越高，大家的收購(gòu) 價(jià)錢就越高，假如廢舊碳化硅產(chǎn)品的空氣氧化水平較為高，那麼碳化硅含量就很低了，收購(gòu) 價(jià)錢也便會(huì)降低。廢舊氮化硅瓷器便是歷經(jīng)應(yīng)用之后，毀壞或是損壞的氮化硅產(chǎn)品，Si3N4瓷器是一種化學(xué)鍵化學(xué)物質(zhì)，基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)單元為[SiN4]四面體，硅原子坐落于四面體的正中間，在其周邊有四個(gè)氮原子，各自坐落于四面體的四個(gè)端點(diǎn)，隨后以每三個(gè)四面體同用一個(gè)分子的方式，在三維空間產(chǎn)生持續(xù)而又牢固的網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)。為了消除磚在燒成過程中由于MgO和Cr2O3、Al2O3或直接結(jié)合氮化硅磚。

如果要在半導(dǎo)體基材上沉積氮化硅，有兩種方法可供使用：

利用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在相對(duì)較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進(jìn)行。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)在溫度相對(duì)較低的真空條件下進(jìn)行。

氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同，生成的氮化硅薄膜會(huì)有產(chǎn)生張力或應(yīng)力。特別是當(dāng)使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)時(shí)，能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少?gòu)埩Α?/p>

先利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅，然后同時(shí)利用碳熱還原法和氮化對(duì)其中包含特細(xì)碳粒子的硅膠進(jìn)行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細(xì)碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的。

氮化硅制品按工藝可以分為反應(yīng)燒結(jié)制品、熱壓制品、常壓燒結(jié)制品、等靜壓燒結(jié)制品和反應(yīng)重?zé)破返取Ｆ渲校磻?yīng)燒結(jié)是一種常用的生產(chǎn)氮化硅耐火制品的方法。

反應(yīng)燒結(jié)法生產(chǎn)氮化硅制品是將磨細(xì)的硅粉（粒度一般小于80μm），用機(jī)壓或等靜壓成型，坯體干燥后，在氮?dú)庵屑訜嶂?350～1400℃，在燒成過程中同時(shí)氮化而制得。采用這種生產(chǎn)方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對(duì)制品的性能有很大的影響。