半導體手套箱服務介紹“本信息長期有效”

手套箱故障分析

一、循環(huán)啟動不了

1. 工作氣壓力是否在0.4-0.6MPa之間；

2. 高真空擋板閥電磁開關反饋是否正常；

3. 壓力傳感器是否顯示正常；

4. 風機空開是否跳閘；

5. 風機變頻器是否正常；

6. 點循環(huán)后，繼電器是否同時亮兩個。

二、再生按鈕不起作用

1. 需輸入密碼；

2. 真空泵未打開；

3. 此凈化柱正在循環(huán)（再生和循環(huán)不能同時在一個凈化柱上）。

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手套箱手套的安裝與維護

初次安裝手套箱請先將手套套在手套口上面，然后分別將內(nèi)外密封圈安裝，安裝后檢查一下，確定密封圈均在凹槽內(nèi)。

如果在使用過程中發(fā)現(xiàn)手套破損，應及時更換，步驟如下：

1.把要替換的手套推倒箱體內(nèi)；

2.摘除掉外部的O型圈，再移動里面的O型圈致手套口外部槽上；

3.把手套卷到外面的O型圈邊，注意不要讓手套從手套口上掉下來；

4.盡可能地壓縮新的手套，趕出里面的空氣；

5.把新的手套安裝到手套口上，套在舊手套上；

6.在新手套外部，手套口里面的槽上安裝O型圈；

7.如果可以，把新手套放入隔離開的工作氣體環(huán)境中清潔（這樣能大程度去除空氣，減少進入手套箱體內(nèi)的空氣量）；

8.從手套箱里面，用另一個手套把舊手套摘到箱體內(nèi)；

9.在新手套外面，手套口外部的槽上安裝上O型圈；

10.通過過渡艙把舊手套取出，妥善處置。

手套箱功能原理       

手套箱箱體內(nèi)的工作氣體在箱體與凈化柱（水氧吸附器）之間，在PLC的控制和監(jiān)視下，通過管道、循環(huán)風機等進行密閉循環(huán)。工作氣體循環(huán)經(jīng)過凈化柱時其所含水分和氧氣被吸附掉，然后再返回箱體內(nèi)，隨著循環(huán)時間的推移，箱體內(nèi)工作氣體中的水氧含量逐步減少，終達到小于1ppm的指標。箱體壓力過高會造成手套箱自動停止循環(huán)，檢查是否有工作氣持續(xù)補進去。凈化柱在一定時間的循環(huán)后會吸附飽和，可進行再生，重復使用。

帶凈化系統(tǒng)手套箱

目前行業(yè)內(nèi)常用的有手套箱。手套箱分類一、工業(yè)手套箱基本技術指標：1、水含量小于1ppm。手套箱的除水除氧功能是靠凈化材料來實現(xiàn)的，而凈化材料在吸附飽和后需要通過再生來恢復其活性，使其重新具有除水除氧功能。目前行業(yè)內(nèi)的一些廠家的產(chǎn)品還原清洗較頻繁，除了密封、凈化材料的再生工藝問題外，存在凈化柱的結構設計不合理、高徑比設計不科學，通入的還原氣體流量控制不科學，每次還原再生不徹底等因素。

因此，尋求一種優(yōu)異的手套箱凈化再生系統(tǒng)，使得再生工藝中凈化材料加熱時更加均勻，還原更加徹底，提升凈化再生體系效能是整個行業(yè)迫切需要解決的問題。

為了克服上述困難，提供一種帶凈化系統(tǒng)的手套箱，凈化再生效果好，凈化材料利用率高，艾明坷氣體凈化手套箱根據(jù)還原反應在不同階段對還原氣體消耗量的差異，通過PLC程序自動控制時間、調(diào)節(jié)氣體流量實現(xiàn)還原氣體流量自動控制。4、手套箱不利用時,應將各個門打開,防止手套箱門由于卡扣長時間擠壓而發(fā)生變形。手套箱氣體凈化系統(tǒng)提升了凈化材料的利用率，提高了手套箱箱體凈化的使用次數(shù)，降低了凈化柱還原的頻率。