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發布時間:2021-05-28 05:10  





1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情,但今天凈化技術發揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著好的方向發展,對凈化車間的依賴度也越來越高。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。
排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等,凈化車間設計時,要根據實際情況選擇。地面可采用環氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防靜電要求的,要選用防靜電型。送回風管道一般用鍍鋅鋼板,不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應選用凈化車間燈具。1級:主要應用于電子工業,這是目前對凈化工程要求高的環境,集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進,對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米,也會使產品壽命受到影響。
潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。凈化工程的等級劃分比較的嚴格,一般按照7個等級進行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化安全要求是根據等級來實施的,凈化工程等級數越小,級別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。

設計凈化系統組織的原則是相鄰二級過濾器的效率不能太接近,也不能相差太大。一般采用初效、中效、亞(或)三級過濾器。也可分四級,增加一級過濾器。一般潔凈室高度控制在2.60米,對個別較高的設備可在局部加高,而不宜提高潔凈區的高度。潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
