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發布時間:2021-08-05 21:14  
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特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫1藥、電子及石油化工在內的許多行業都會受益于特種氣體的獨特性質,它有助于提高產量、優化性能以及降低成本。CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質傳統精餾無法去除,本公司經過多年潛心研究和多項實驗,研發出的多元精餾添加劑打破了雜質共沸而無法除去的技術難題,使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段,較傳統工藝一次性投資降低 50%。特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是在超大的規模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。

我國特種氣體行業在 2006 年后進入快速發展階段,廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和新興產業領域,特種氣體指半導體生產環節中,比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體,也就是氣體類別中的電子氣體,特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競爭力。

特種氣體在太陽能電池中的應用:晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體分類:高純氣體通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純 度的氣體,對于不同類別的氣體,純度指標不同,大多用于超大規模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領域;特種氣體的重要性:正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大,應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。
特種氣體的重要性:在半導體工藝中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環節都離 不開電子特氣,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。特種氣體分類:從應用領域劃分,特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種,廣泛應用 于電子半導體、化工、環保和高裝備制造等領域。特種氣體是指在特定領域中應用的對純度、品種、性質有特殊要求的氣體,隨著工業、科學研究、自動化技術、精密檢測(特別是微電子技術)的發展,特種氣體成為工業氣體市場規模增長新動力,廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜等新興行業。
