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要求

不銹鋼管件在現(xiàn)場(chǎng)安裝時(shí)方可啟封，啟封后均要適用5N的高純氣體吹掃后才能接入系統(tǒng)。整個(gè)系統(tǒng)安裝完成后，還要再使用5N的高純氮?dú)膺M(jìn)行大流量吹掃，以確保整個(gè)系統(tǒng)的潔凈度。供氣系統(tǒng)安裝完成后，根據(jù)要求進(jìn)行相關(guān)的強(qiáng)度測(cè)試、密封測(cè)試和穩(wěn)定性測(cè)試。實(shí)驗(yàn)室“氣體工程”是一項(xiàng)較為復(fù)雜，嚴(yán)謹(jǐn)?shù)南到y(tǒng)工程，需要專業(yè)的工程公司參與整體設(shè)計(jì)規(guī)劃。

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氣體管路要求

所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。（比如通風(fēng)柜）。氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。氣體，如需要和其他氣體分開單獨(dú)引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨(dú)的閥門隔離，以方便對(duì)過濾裝置進(jìn)行維修。高純氣體管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單獨(dú)的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。

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智能氣路系統(tǒng)功能模塊

根據(jù)不同研究方向需求不同，智能氣路系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)以下基本功能模塊：

氣體流量單獨(dú)控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接設(shè)定內(nèi)部質(zhì)量流量控制器（MFC）流量，設(shè)定范圍為2%-F.S.

電磁截止閥單獨(dú)控制：用戶可通過屏幕上顯示的氣路原理圖直接控制電磁截止閥關(guān)斷/開啟

自動(dòng)分段進(jìn)氣功能：按照客戶給出的流量設(shè)定值及時(shí)間長(zhǎng)度自動(dòng)完成分段進(jìn)氣，客戶可針對(duì)流量實(shí)現(xiàn)二次編程，自動(dòng)進(jìn)氣

壓力報(bào)警和處理：配合壓力傳感器及電磁閥的聯(lián)動(dòng)，用戶可自定義設(shè)定壓差上限與下限，實(shí)現(xiàn)壓差上限下限報(bào)警或關(guān)斷功能，保護(hù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果和氣路系統(tǒng)

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