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發布時間：2021-06-08 06:09
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潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。凈化工程在設計時，工程的墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板，其特點為美觀、剛性強。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材。1級：主要應用于電子工業，這是目前對凈化工程要求高的環境，集成電路要求的精度要達到亞微米。隨著微電子工業技術領域的突飛猛進，對潔凈室的要求越來越高。及時生產間內的例子直徑僅有1微米，也會使產品壽命受到影響。
排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等，凈化車間設計時，要根據實際情況選擇。10級：主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導體技術也在發展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"
濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發生擊穿。對于硅片生產溫度范圍為35—45%。凈化工程在設計時，無論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國家相關標準、規范進行。
100級：是常用的凈化工程，除了對空氣中的塵埃數有要求，對空氣中細菌的濃度也有明確要求。一般用于醫行業進行無菌制造，例如制造臨床用于植入人體內的物品，藥生產。醫學科學實驗也在此環境中，包括實驗動物飼養環境。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間"
