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流量器安裝使用注意事項

厚禮博專業生產、銷售熱式質量流量器，我們為您分析該產品的以下信息。

安裝姿勢（方向）

1）熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢（水平、 垂直或傾斜）安裝，有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整。然而有些型號儀表對安裝姿勢具有敏感性，大部分制造廠會對此就安裝姿勢影響和安裝要求作出說明。例如LDG-□DB系列為減少環境氣氛對流傳熱影響，只能水平安裝，水平度允差±20。表4列舉Sierra公司對帶測量管浸入式TMF所規定的上直管段長度。應用于高壓氣體時流量傳感器則寧可選擇水平安裝，因為這樣便于做到調零的零偏置。

2）浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢影響。然而在低流速測量時因受管道內氣體對流的熱流影響，使安裝姿勢顯得重要。因此在低和非常低流速流動時要獲得準確測量，必須遵循制造廠依據儀表設計結構而定的安裝建議。

流量控制器在高壓條件下如何使用?

質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號;  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規定的范圍。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。

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流量控制器的性能參數

流量控制器的特點是：當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。

流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差，行業標準中的誤差要求小于等于8％，A類產品的誤差小于等于5％。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設計、加工和材質。

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