高純供氣公司-艾明坷科技公司-山西高純供氣

電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定

1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統，內向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發現的泄漏點經修補后，應重新經過氣密性試驗，合格后再按規定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統測試完畢，應充入高純氮氣，并進行吹掃。測試完畢后，應提交測試報告。

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特種氣體使用安全

首先，應對特氣的危害性進行分析，高純供氣廠家，通過本質安全設計，消除安全隱患。根據行業規范，對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏，確保系統密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統應采用焊接系統，機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處理。氣體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規程。

其次，高純供氣公司，采用監測手段，山西高純供氣，預防事故發生。設置氣體泄漏偵測器，監控氣體泄漏。可燃性氣體應設置高溫或火焰偵測器。危險氣體應設置過流開關。特氣系統氣柜應進行負壓監測，防止抽風系統的失效。偵測系統應與報警和緊急切斷連鎖。系統還應進行遠程監控。監控系統應設置不間斷電源。

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特種氣體的應用

電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業，由于所用氣體的品種多、質量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體，它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。電子行業常用的特氣超過三十余種，按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域，其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有20～30種。

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